慣性MEMS器件原理與實踐
作 者: (德)沃克爾·肯普(Volker Kempe) 著;張新國 等 譯
定 價: 128
出?版?社: 國防工業出版社
出版日期: 2016年05月01日
頁 數: 410
裝 幀: 平裝
ISBN: 9787118108873
內容簡介
該書共分9個章節。其中6個章節(包括引言)用於講述MEMS相關技術的理論基礎。靠前章講述了慣性MEMS中很重要的傳感器-加速度計和陀螺儀的相關背景知識;第二章講述了諸如彈性力和阻尼力等非慣性力的理論知識,這些在設計慣性MEMS傳感器時很好重要;第三、四章描述了主要MEMS工藝的制作技術;第五章講述MEMS封裝技術;第六章講述MEMS接口電路技術。前六章內容不僅適合慣性MEMS行業的技術人員,而且對其他想對MEMS有總體了解的人員也有很大的吸引力。第七、八章為核心內容,講述慣性MEMS傳感器-加速度計和陀螺儀
(德)沃克爾·肯普(Volker Kempe) 著;張新國 等 譯
沃爾·肯普,在院校和工業領域有著超過40年的研究與開發經驗。他領導奧地利Mikro SYSTEMS公司的微電子工程部10餘年。在2003年,作為Sensor Dynamics AG的聯合創始人之一,擔任該公司的副總裁。目前他致力於功能擴展、技術提升以及MEMS慣性傳感器的應用等方面的工作。
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