內容簡介

微機電繫統(MEMS)技術是一個快速發展的前沿技術領域，使用的材料種類多、工藝方法復雜，需要繫統地歸納、分析與整理，以便於讀者查閱。《MEMS材料與工藝手冊》由利薩·格迪斯著，內容包括MEMS材料，MEMS加工工藝和制造工藝，MEMS工藝集成方法以及工業屆已經采用的工藝制造流程案例。本手冊適合相關專業高年級本科生、研究生及工程科研技術人員閱讀和參考。