●第l章 引言
1．1 MEMS集成傳感器
1．2 MEMS傳感器接口電路集成技術特點及發展現狀
1．2．1 主要技術特點
1．2．2 國內外發展趨勢
參考文獻
第2章 微加速度計接口ASIC集成技術
2．1 電容式加速度計接口電路
2．1. l 電容式微加速度計的工作原理
2．1．2 電容式加速度計接口電路
2．1. 3 哈爾濱工業大學設計的閉環電容式加速度計接口電路
2．2 集成壓阻式加速度計接口電路
2．2．1 壓阻式加速度計的工作原理
2. 2．2 壓阻式加速度計接口ASIC
2. 3 集成壓電式加速度計接口電路
2. 3. l 壓電式加速度計工作原理
2．3. 2 壓電式加速度計接口電路
2．4 集成諧振式加速度計接口電路
2．4. l 諧振式加速度計工作原理
2．4. 2 諧振式加速度計接口電路
2．5 集成熱對流武加速度計接口電路
2．5. 1 熱對流加速度計的工作原理
2．5. 2 熱對流加速度計接口電路
2．6 集成多軸加速度計接口電路
參考文獻
第3章 微機械陀螺接口ASIC集成技術
3．1 硅微機械陀螺
3．1. 1 微機械陀螺等效電學模型
3．1．2 接口電路原理
3. 1．3 PCB混合集成電路
3．2 石英微機械陀螺接口ASIC
3．2. 1 石英微機械陀螺基本原理
3．2. 2 石英微機械陀螺接口電路
3．3 典型集成微陀螺產品及應用
3．3．1 ADXRS300
3. 3．2 ADXRS614
參考文獻
第4章 磁傳感器接口ASIC集成技術
4．1 各向異性磁阻傳感器
4．1. 1 各向異性磁阻傳感器原理
4．1. 2 各向異性磁阻接口ASIC電路
4．2 巨磁阻傳感器
4．2．1 巨磁阻傳感器原理
4. 2．2 巨磁阻傳感器接口ASIC
4．3 巨磁阻抗傳感器
4．3. 1 巨磁阻抗傳感器原理
4. 3．2 巨磁阻抗傳感器接口ASIC
4．4 磁通門傳感器
4．4. 1 磁通門傳感器原理
4. 4．2 等效電學模型
4．4．3 磁通門傳感器接口ASIC
參考文獻
第5章 MEMS壓力傳感器等接口ASIC集成技術
5．1 集成壓力傳感器
5．1. l 集成壓力傳感器分類
5. 1．2 集成壓力傳感器結構及工作原理
5．1．3 壓力傳感器接口電路
5．1. 4 典型集成壓力傳感器產品及應用
5．1．5 國外各大公司集成壓力傳感器部分產品一覽
5．2微(型)麥克風
5．2．1 常見麥克風的種類
5. 2．2 MEMS微麥克風
5．2．3 電容式麥克風的工作原理
5．2. 4 微麥克風接口電路
5. 2．5 典型產品及應用
5．3 MEMS紅外傳感器及接口電路
5．3．1 MEMS紅外傳感器工作原理
5．3．2 接口電路及單片集成
參考文獻