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內容簡介
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《電阻率測試理論與實踐》(作者孫以材、汪鵬、孟慶浩)以電阻率測量中廣泛使用的探針技術為對像,以作者多年的相應測試實踐對電阻率測試中許多理論問題作了深入探討,具體包括:四探針法電阻率測量基本原理、靜電場數值計方法、範德堡法及其改進法電阻率測量基本原理、魯美采夫斯基法及其改進法電阻率測量基本原理、電阻率Mapping技術、電阻牢測試的EIT技術、外延片的電阻率測試、接觸電阻的測量、電阻率測試的測準條件。
《電阻率測試理論與實踐》可供從事傳感器與半導體材料相關專業的研究人員和大專院校師生閱讀,也可供生產實踐的工程技術人員參考。