產品名稱：慣性MEMS器件原理與實踐 是否是套裝：否 書名：慣性MEMS器件原理與實踐 慣性MEMS器件原理與實踐 代碼：128 出版社名稱：國防工業出版社 出版時間：2016年5月 作者：沃克爾 ISBN編號：9787118108873
" 慣性MEMS器件原理與實踐 作 者:(德)沃克爾·肯普(Volker Kempe) 著；張新國 等 譯  定 價:128 出 版 社:國防工業出版社 出版日期:2016年05月01日 頁 數:410 裝 幀:平裝 ISBN:9787118108873  ●第1章緒論
●1.1MEMS時期之前的概況
●1.2應用與市場
●1.3慣性MEMS器件的組成
●參考文獻
●第2章換能器
●2.1各向異性材料特性、張量和旋度
●2.1.1應力、應變與壓阻效應
●2.1.2坐標繫旋轉
●2.2壓阻式換能器
●2.2.1壓電電阻器
●2.2.2硅壓阻式傳感器
●2.2.3多晶硅的壓電電阻
●2.3壓電換能器
●2.3.1壓電效應
●2.3.2壓電方程
●2.4電容式換能器
●2.4.1靜電力
●2.4.2平行板式電容
●2.4.3傾斜板式電容......  內容簡介  該書共分9個章節。其中6個章節（包括引言）用於講述MEMS相關技術的理論基礎。靠前章講述了慣性MEMS中很重要的傳感器-加速度計和陀螺儀的相關背景知識；第二章講述了諸如彈性力和阻尼力等非慣性力的理論知識，這些在設計慣性MEMS傳感器時很好重要；第三、四章描述了主要MEMS工藝的制作技術；第五章講述MEMS封裝技術；第六章講述MEMS接口電路技術。前六章內容不僅適合慣性MEMS行業的技術人員，而且對其他想對MEMS有總體了解的人員也有很大的吸引力。第七、八章為核心內容，講述慣性MEMS傳感器-加速度計和陀螺儀  (德)沃克爾·肯普(Volker Kempe) 著；張新國 等 譯  沃爾·肯普，在院校和工業領域有著超過40年的研究與開發經驗。他領導奧地利Mikro SYSTEMS公司的微電子工程部10餘年。在2003年，作為Sensor Dynamics AG的聯合創始人之一，擔任該公司的副總裁。目前他致力於功能擴展、技術提升以及MEMS慣性傳感器的應用等方面的工作。 "
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