本書全面地介紹了與薄膜制備技術相關的各種基礎知識，涉及薄膜制備繫統、典型的物理制膜與化學制膜方法、薄膜加工方法，以及常用的薄膜性能表征技術，同時緊密結合當前薄膜領域***的技術、方法和裝置進行闡述。書的內容廣泛，由淺入深，對於初步接觸這一領域的人員而言是一本較好的入門教材。

本書較為繫統、全面地介紹了與薄膜制備技術相關的各種基礎知識， 涉及了薄膜制備繫統、典型的物理制膜與化學制膜方法、薄膜加工方法， 以及常用的薄膜性能表征技術，同時緊密結合當前薄膜領域最先進的技術 、方法和裝置。 原外版書作者長期在薄膜科學與技術領域從事研究、開發和教育工作 ，有豐富的工作經驗與廣博的專業知識。本書自初版以來，已有三十餘年 ，迄今已4次再版，反映了本書在這一領域具有較為深遠的影響。 本書的內容豐富，由淺入深，對於材料科學、微電子專業學生而言是 一本良好的基礎教材；對於在這一領域學習、工作的人員而言，具有很好 的參考價值。

第1章 薄膜技術
1.1 生物計算(bio-computing)和薄膜技術
1.2 醫用微型機械
1.3 人工腦的實現（μ-Electronics）
1.4 大型顯示的實現
1.5 原子操控
1.6 薄膜技術概略
參考文獻
第2章 真空的基礎
2.1 真空的定義
2.2 真空的單位
2.3氣 體的性質
2.3.1 平均速率Va
2.3.2 分子直徑δ
2.3.3 平均自由程L
2.3.4 踫撞頻率Z
2.4 氣體的流動和流導
2.4.1 孔的流導
2.4.2 長管的流導（L/a≥100）
2.4.3 短管的流導
2.4.4 流導的合成
2.5 蒸發速率
參考文獻
第3章 真空泵和真空測量
第4章 真空繫統
第5章 薄膜基礎
第6章 薄膜的制備方法
第7章 基板
第8章 蒸鍍法
第9章 濺射
**0章 氣相沉積CVD和熱氧化氮化
**1章 刻蝕
**2章 精密電鍍
**3章 平坦化技術