第1章 緒論
1.1 超聲引線鍵合質量檢測與控制的意義
1.2 引線鍵合背景知識
1.2.1 引線鍵合技術
1.2.2 超聲熱壓球形鍵合工藝及鍵合原理
第2章 鍵合失效分析及鍵合質量檢測方法
2.1 引言
2.2 鍵合質量檢測技術
2.2.1 質量檢測方法
2.2.2 傳統檢測方法
2.2.3 現代檢測方法
本章參考文獻
第3章 鍵合繫統關鍵部件機理分析
3.1 引言
3.2 換能器繫統模態分析
3.2.1 模態分析理論基礎
3.2.2 換能器有限元模型
3.2.3 換能器模態分析
3.3 鍵合工具振動特性分析
3.3.1 鍵合工具有限元模型
3.3.2 鍵合工具模態分析
3.3.3 鍵合工具振動響應分析
3.4 鍵合球變形分析
3.4.1 鍵合球接觸模型
3.4.2 不同加載壓力對鍵合球變形的影響
3.5 本章小結
本章參考文獻
第4章 壓電效應機理分析
4.1 引言
4.2 壓電效應
4.2.1 壓電效應邊界條件
4.2.2 換能器等效模型與分析
4.3 鍵合質量檢測存在困難
4.4 本章小結
本章參考文獻
第5章 鍵合質量檢測繫統實驗臺分析
5.1 引言
5.2 檢測繫統實驗臺建立
5.3 鍵合實驗設計與設備工藝參數優化
5.3.1 鍵合實驗設計
5.3.2 鍵合工藝參數優化
5.4 壓電換能器耦合電信號獲取與預處理
5.4.1 數據采集卡的選擇
5.4.2 數據測量電路設計
5.4.3 數據觸發功能及數據采集
5.4.4 數據預處理
5.5 通過超聲電信號識別鍵合工藝參數
5.5.1 鍵合時間的識別
5.5.2 超聲功率的識別
5.5.3 鍵合壓力的識別