極紫外與軟X射線多層件研究/同濟博士論叢
內容簡介
針對極紫外和軟X射線常規周期多層件帶寬窄導致的測試困難的現狀,本文搶先發售提出了非周期多層膜寬帶偏件的方法,克服了常規周期多層膜帶寬窄、件需要平移或旋轉的難題。
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