●前言
1 緒論
1.1 MEMS光纖聲壓傳感技術簡介
1.2 MEMS光纖聲壓傳感器領域現存主要問題
1.3 本書主要內容
2 MEMS光纖聲壓傳感器光學原理分析
2.1 F-P干涉儀基本原理
2.1.1 標準F-P腔的干涉譜分析
2.1.2 光纖F-P腔的干涉譜分析
2.2 光束傳輸損耗模型分析
2.2.1 間隔損耗理論分析
2.2.2 傾斜、錯位損耗理論分析
2.2.3 傳輸損耗對干涉條紋的影響
2.3 MEMS光纖聲壓傳感器解調技術
2.3.1 強度解調
2.3.2 相位解調
2.4 本章小結
3 MEMS光纖聲壓傳感器力學原理分析
3.1 膜片振動性能分析
3.1.1 自由振動的解
3.1.2 受迫振動的解
3.1.3 特殊情形的解
3.2 MEMS光纖聲壓傳感器的等效電路模型
3.2.1 電-力-聲線路類比
3.2.2件阻抗表達式
3.3 MEMS光纖聲壓傳感器的聲學性能仿真
3.3.1 膜片半徑對傳感器性能的影響
3.3.2 膜片厚度對傳感器性能的影響
3.3.3 腔體體積對傳感器性能的影響
3.3.4 膜片內應力對傳感器性能的影響
3.3.5 連通孔尺寸對傳感器性能的影響
3.3.6 空氣腔對水聽器的增敏作用研究
3.3.7 常見膜片材料對傳感器性能的影響
3.4 本章小結
4 MEMS光纖聲壓傳感器膜片加工技術
4.1 聲壓敏感膜片材料研究現狀
4.1.1 硅基材料
4.1.2 金屬材料
4.1.3 二維材料
4.1.4 有機材料
4.2 聲壓敏感膜片結構研究現狀
4.2.1 凸臺結構
4.2.2 紋膜結構
4.3 聲壓敏感膜片加工技術研究
4.3.1 金屬平膜膜片加工
4.3.2 金屬紋膜膜片加工
4.3.3 PET紋膜膜片加工
4.4 本章小結
5 MEMS光纖聲壓傳感器結構設計與加工
5.1 F-P腔結構研究現狀
5.1.1 同軸型結構
5.1.2 垂直軸型結構
5.2 MEMS光纖麥克風結構設計與加工
5.2.1 同軸型MEMS光纖麥克風結構設計與加工
5.2.2 垂直軸型MEMS光纖麥克風結構設計與加工
5.2.3 長腔長型MEMS光纖麥克風結構設計與加工
5.3 MEMS光纖水聽器結構設計與加工
5.3.1 MEMS光纖水聽器研究現狀
5.3.2 MEMS光纖水聽器結構設計及加工步驟
5.3.3 MEMS光纖水聽器加工結果
5.4 本章小結
6 MEMS光纖聲壓傳感器性能測試
6.1 聲學實驗測試原理、繫統及方法簡介
6.1.1 光纖聲壓傳感器信號解調繫統
6.1.2 聲學實驗測試裝置
6.1.3 光纖聲壓傳感器測量參數簡介
6.2 MEMS光纖麥克風聲學性能測試
6.2.1 同軸型平膜MEMS光纖麥克風聲學性能測試結果
6.2.2 同軸型紋膜MEMS光纖麥克風聲學性能測試結果
6.2.3 長腔長型MEMS光纖麥克風聲學性能測試結果
6.2.4 垂直軸型MEMS光纖麥克風聲學性能測試結果
6.3 MEMS光纖水聽器聲學性能測試
6.3.1 水腔PET平膜MEMS光纖水聽器聲學性能測試結果
6.3.2 空氣腔PET平膜MEMS光纖水聽器聲學性能測試結果
6.3.3 PET紋膜MEMS光纖水聽器聲學性能測試結果
6.3.4 銀膜片MEMS光纖水聽器聲學性能測試結果
6.4 本章小結
7 總結
參考文獻
索引
