●第1章光波衍射積分變換的基礎理論與基本方法
1．1光衍射圖像生成
1．2衍射微光學結構
1．3設計實例
1．4小結
第2章衍射微光學圖像生成與發射結構
2．1單步光刻與硅KOH濕法蝕刻
2．2可見光圖像發射效能評估
2．3小結
第3章折射微光學波前出射結構
3．1問題與挑戰
3．2折射微光學波前出射結構的工藝制作方法
3．3可見光譜域光學性能測試與評估
3．4小結
第4章相干光波的衍射整形與頻譜空間分離
4．1基礎理論與基本方法
4．2常規近場與遠場衍射積分變換
4．3衍射結構設計算法
4．4基於遠場衍射的頻譜空間分離
4．5準連續相位分布的衍射微光學結構
4．5．1光程差算法
4．5．2GS算法
4．5．3模擬退火算法
4．5．4時域有限差分法
4．5．5基於角譜的串行迭代算法
4．6衍射微光學結構設計
4．7毫米級近場的衍射積分變換
4．8小結
第5章構建衍射微光學結構執行復雜光束變換
5．1衍射相位結構
5．2硅的各向異性KOH濕法蝕刻
5．3測試與分析
5．4具有準連續相位分布的衍射微光學波前結構
5．5衍射微光學遠場光束整形
5．5．1單步電子束曝光
5．5．2測試、分析與討論
5．6適用於毫米級近場光束整形的衍射微光學結構
5．6．1關鍵工藝流程
5．6．2特征屬性表征與測試
5．6．3常規光學性能測試與評估
5．7小結
第6章太赫茲圖像的光衍射發射
6．1太赫茲波衍射相位結構與光刻版圖
6．2硅基太赫茲波衍射相位結構濕法蝕刻
6．3典型特征評估
6．4衍射相位結構設計與實現
6．4．1KOH濕法蝕刻
6．4．2測試、討論與分析
6．5小結
……
第7章紅外與太赫茲波衍射微光學波前結構
第8章硅基非球面光學折射結構
參考文獻
