基本信息

• 商品名稱：微機電繫統基礎(原書第2版)/國外電子電氣經典教材繫列
• 作者：(美)劉昶|譯者:黃慶安
• 代碼：69
• 出版社：機械工業
• ISBN號：9787111406570

其他參考信息

• 出版時間：2013-02-01
• 印刷時間：2013-02-01
• 版次：1
• 印次：1
• 開本：16開
• 包裝：平裝
• 頁數：397

內容提要

Chang Liu所著的《微機電繫統基礎（原書第2版）》**版被翻譯成3 種文字出版發行，並已被美國一些**大學作為教科書，在MEMS領域享有 較高聲譽。全書共分15章。**、2章概括了基本傳感原理和制造方法；第3 章討論了當今MEMS實踐中所必需的電學和機械工程基本知識；第4～9章分 別描述了靜電、熱、壓阻、壓電、磁敏感與執行方法，及其相關的傳感器 與執行器；**0～11章詳細介紹了微制造中*常用的體微機械加工和表面 微機械加工技術，而器件制造方法則插入到實例研究中；**2章討論了工 藝技術的綜合應用；**3章介紹了與聚合物有關的MEMS制造技術；**4章 討論了微流控原理及應用。根據這些敏感與執行方法以及制造方法；**5 章選擇了MEMS商業化產品實例進行介紹。
     《微機電繫統基礎（原書第2版）》循序漸進，體繫嚴密，適合作為微 機電繫統（MEMS）、傳感器、微電子、機械工程、儀器儀表等專業的高年 級本科生和研究生教材，也適合於這些領域的科技人員參考。
    

作者簡介

Chang Liu(劉昶)於1995年在美國加州理工學院獲博士學位。1996年在美國伊利諾斯大學微電子實驗室作博士後，1997年成為伊利諾斯大學電氣與計算機工程繫和機械與工業工程繫聯合任命的助理教授，2003年獲得終身職位並任副教授。 Chang Liu在微機電繫統MEMS領域研究已經14年，發表120餘篇國際期刊論文及會議論文，他的研究工作被廣泛引用。他為本科生和研究生開設了多門課程，包括MEMS、固體電子學、機電學和傳熱學。他因利用MEMS技術開發人工毛發細胞方面的工作，於1998年獲得美國**科學基金會的CAREER獎。他目前擔任國際期刊JMEMS的編委和IEEESensors Joumal的副主編以及IEEE MEMS，IEEE Sensors等多種國際會議程序委員會委員。

目錄

第2版譯者序
**版譯者序
教師備忘錄
前言
**章 緒論
1.0 預覽
1.1 MEMS發展史
1.1.1 從誕生到1990年
1.1.2 從1990年到2001年
1.1.3 從2002年到現在
1.1.4 未來發展趨勢
1.2 MEMS的本質特征
1.2.1 小型化
1.2.2 微電子集成
1.2.3 高精度的並行制造
1.3 器件：傳感器和執行器
1.3.1 能量域和換能器
1.3.2 傳感器考慮
1.3.3 傳感器噪聲及設計復雜性
1.3.4 執行器考慮
1.4 總結
習題
參考文獻
第2章 微制造導論
第3章 電學與機械學基本概念
第4章 靜電敏感與執行原理
第5章 熱敏感與執行原理
第6章 壓阻傳感器
第7章 壓電敏感與執行原理
第8章 磁執行原理
第9章 敏感與執行原理總結
**0章 體微機械加工與硅各向異性刻蝕
**1章 表面微機械加工
**2章 工藝組合
**3章 聚合物MEMS
**4章 微流控應用
**5章 MEMS典型產品實例
附錄A 典型MEMS材料特性
附錄B 梁、懸臂梁、板的常用力學公式
附錄C 處理二階動態繫統的基本方法
附錄D 常用材料的制備方法、刻蝕劑和能夠承受的*高溫度
附錄E 常用材料去除工藝
附錄F 材料和工藝之間的兼容性總結
附錄G 商用慣性傳感器比較部分習題答案