優選干涉檢測技術是將經典的干涉繫統與當前各種新穎的光電子器件及機電繫統、高速發展的計算機技術緊密結合,從而實現目標信息多參數三維空間高精度檢測的綜合性技術。其在國防及國民經濟、微電子、材料及生物醫學各領域都有著廣泛的應用。本書繫統地論述了優選干涉檢測技術所涉及的各方面光學原理及其應用。主要內容包括:干涉檢測相關光學原理、常用干涉儀、共路干涉儀、剪切干涉儀、點衍射干涉儀、位相調制技術、非球面檢測技術、干涉光譜技術、干涉圖處理技術等。本書可作為光電信息科學與工程相關專業本科及研究生的專業課教材,也可作為光學精密儀器及光機電一體化相關科研工作者的參考書。