●上篇 電子薄膜制備與測試分析
第1章 電子薄膜基礎知識
1.1 電子薄膜制備簡介
1.2 真空技術基礎
1.2.1 真空的定義
1.2.2 真空的獲得
1.2.3 真空的測量
1.3 濺射鍍膜工藝
1.3.1 直流磁控濺射原理
1.3.2 射頻磁控濺射原理
1.4 蒸發鍍膜工藝
1.4.1 真空蒸發鍍膜原理
1.4.2 電阻式加熱蒸發鍍膜
1.4.3 電子束蒸發鍍膜
1.4.4 脈衝激光沉積
1.4.5 分子束外延
1.4.6 其他蒸發鍍膜方法
1.5 薄膜的生長過程
1.5.1 薄膜的生長模式
1.5.2 薄膜的形核與生長
1.5.3 連續膜的形成
1.5.4 薄膜的生長過程與薄膜結構
1.5.5 薄膜中的應力和薄膜的附著力
1.6 薄膜材料的測量與表征
1.6.1 薄膜厚度的測量
1.6.2 薄膜結構的表征方法
1.6.3 薄膜成分的表征方法
第2章 電子薄膜制備與分析測試實驗
2.1 直流磁控濺射鍍膜實驗
2.1.1 實驗目的
2.1.2 實驗原理
2.1.3 實驗設備及器材
2.1.4 實驗步驟
2.1.5 樣品測試及實驗數據處理
2.1.6 實驗思考題
2.2 真空熱阻蒸發鍍膜實驗
2.2.1 實驗目的
2.2.2 實驗原理
2.2.3 實驗設備及器材
2.2.4 實驗步驟
2.2.5 樣品測試及實驗數據處理
2.2.6 實驗思考題
2.3 電子束蒸發鍍膜實驗
2.3.1 實驗目的
2.3.2 實驗原理
2.3.3 實驗設備及器材
2.3.4 實驗方法和步驟
2.3.5 樣品測試及實驗數據處理
2.3.6 實驗思考題
2.4 射頻磁控濺射鍍膜實驗
2.4.1 實驗目的
2.4.2 實驗原理
2.4.3 實驗設備及器材
2.4.4 實驗步驟
2.4.5 樣品測試及實驗數據處理
2.4.6 實驗思考題
2.5 薄膜的微結構及形貌分析實驗
2.5.1 實驗目的
2.5.2 實驗原理
2.5.3 實驗設備及器材
2.5.4 實驗步驟
2.5.5 樣品測試及實驗數據處理
2.6 薄膜厚度及電輸運性能測試
2.6.1 實驗目的
2.6.2 實驗原理
2.6.3 實驗設備與器材
2.6.4 實驗步驟
2.6.5 樣品測試及實驗數據處理
2.6.6 實驗思考題
2.7 薄膜熱電偶的制作與標定綜合實驗
2.7.1 實驗目的
2.7.2 實驗原理
2.7.3 實驗設備與器材
2.7.4 實驗步驟
2.7.5 樣品測試及實驗數據處理
2.7.6 實驗思考題
2.8 類電容器結構薄膜器件的制作實驗
2.8.1 實驗目的
2.8.2 實驗原理
2.8.3 實驗設備與器材
2.8.4 實驗步驟
2.8.5 樣品測試及實驗數據處理
2.8.6 實驗思考題
2.9 薄膜光電探測器的制作與性能測試實驗
2.9.1 實驗目的
2.9.2 實驗原理
2.9.3 實驗設備與器材
2.9.4 實驗步驟
2.9.5 樣品測試及實驗數據處理
2.9.6 實驗思考題
參考文獻
下篇 電子陶瓷制備與測試分析
第3章 電子陶瓷基礎知識
3.1 電子陶瓷制備簡介
3.2 粉料性能表征
3.2.1 顆粒尺寸
3.2.2 化學成分和含水量
3.2.3 粉料的密度
3.2.4 粉料的流動性
3.3 粉料的混磨
3.3.1 球磨
3.3.2 砂磨
3.4 粉料制備方法
3.4.1 高溫固相反應法
3.4.2 沉澱法
3.4.3 水熱合成法
3.4.4 噴霧熱分解法
3.4.5 溶膠-凝膠法
3.4.6 自蔓延合成法
3.4.7 溶膠凝膠自燃燒法
3.5 成型技術
3.5.1 坯體特性
3.5.2 成型方法
3.6 燒結技術
3.6.1 燒結過程
3.6.2 燒結過程的控制
3.6.3 燒結種類
3.7 電子陶瓷材料結構表征
3.7.1 物相分析
3.7.2 顯微結構分析
第4章 電子陶瓷制備與測試分析實驗
4.1 電子基板用Al2O3陶瓷材料的制備
4.1.1 實驗目的
4.1.2 實驗原理
4.1.3 實驗設備與器材
4.1.4 實驗步驟
4.1.5 樣品測試及實驗數據處理
4.1.6 實驗思考題
4.2 介質移相器用BZT陶瓷材料的制備
4.2.1 實驗目的
4.2.2 實驗原理
4.2.3 實驗設備與器材
4.2.4 實驗步驟
4.2.5 樣品測試及實驗數據處理
4.2.6 實驗思考題
4.3 PTC熱敏電阻的制備
4.3.1 實驗目的
4.3.2 實驗原理
4.3.3 實驗設備與器材
4.3.4 實驗步驟
4.3.5 樣品測試及實驗數據處理
4.3.6 實驗思考題
4.4 LTCC微波陶瓷材料制備
4.4.1 實驗目的
4.4.2 實驗原理
4.4.3 實驗設備與器材
4.4.4 實驗步驟
4.4.5 樣品測試及實驗數據處理
4.4.6 實驗思考題
4.5 片式功率電感器用抗直流偏置鎳鋅鐵氧體材料的制備
4.5.1 實驗目的
4.5.2 實驗原理
4.5.3 實驗設備與器材
4.5.4 實驗步驟
4.5.5 樣品測試及實驗數據處理

全書分上、下兩篇，上篇為電子薄膜制備與測試分析，介紹真空技術、鍍膜工藝、薄膜生長及其表征技術等基礎知識，具體闡述了直流磁控濺射鍍膜、真空熱阻蒸發制膜、電子束蒸發制膜、射頻磁控濺射制膜、薄膜的表征及分析等六個基礎實驗的內容，並設計了基於薄膜材料的熱電偶制作與標定、類電容器結構薄膜器件制作和薄膜光電探測器制作等三個綜合實驗項目；下篇為電子陶瓷制備與測試分析，介紹粉料制備、成型、燒結與電子陶瓷材料結構表征等基礎知識，詳細闡述電子基板、介質移相器、熱敏電阻、功率電感、微波器件等用電子陶瓷材料制備與測試六個綜合實驗項目的設計原理、實驗方法與步驟、測試分析等內容。 本書可作為高等院校電子科學與技術、材料科學與工程等專業的實驗教材或參考書，也可供相關專業研究人員參考。