●1總則
2術語
3特種氣體站房
3.1一般規定
3.2特種氣體站房布置
3.3特種氣體設備布置
4特種氣體工藝繫統
4.1一般規定
4.2特種氣體輸送繫統
4.3吹掃和排氣繫統
4.4硅烷工藝繫統
5生命安全繫統
5.1特種氣體管理繫統
5.2特種氣體探測繫統
5.3其他安全設施
5.4特種氣體報警的聯動控制
6特種氣體管道輸送繫統
6.1一般規定
6.2材料選型
6.3管道設計
6.4管道標識
7建築結構
7.1一般規定
7.2建築防火
7.3建築構造措施
8電氣與防雷
8.1配電與照明
8.2防雷與接地
9公用工程
9.1給水排水
9.2消防
9.3采暖通風與空氣調節
10特種氣體繫統工程施工
10.1一般規定
10.2主要設備、材料進場驗收
10.3氣瓶櫃與氣瓶架的安裝
10.4閥門箱與閥門盤的安裝
10.5尾氣處理裝置及純化器的安裝
10.6特種氣體管道安裝
10.7特種氣體管道改擴建工程施工
11特種氣體繫統工程驗收
11.1一般規定
11.2設備驗收
11.3管路與繫統驗收
11.4氣體探測(監控)繫統驗收
附錄A特種氣體管道氦檢漏方法
附錄B電子工業用特種氣體的主要物化性質(單一氣體)
本標準用詞說明
引用標準名錄
附:條文說明