●第1章緒論
1.1慣性傳感器的基本概念及物理基礎
1.1.1加速度計的物理基礎
1.1.2陀螺儀的物理基礎
1.2慣性傳感器的典型應用
1.2.1慣性導航
1.2.2制導控制回路
1.2.3慣性姿態測量
1.2.4慣性姿態穩定
1.2.5高過載檢測
1.3慣性傳感器的發展概況
1.3.1加速度計
1.3.2機械轉子陀螺
1.3.3振動陀螺
1.3.4光學陀螺
1.3.5新型陀螺
思考題
參考文獻

第2章加速度計
2.1加速度計的基本原理
2.1.1比力與加速度
2.1.2擺式加速度計基本原理
2.1.3振動式加速度計基本原理
2.2石英撓性加速度計
2.2.1石英撓性加速度計的組成結構與部件功能
2.2.2信號檢測與處理過程
2.2.3石英撓性加速度計的誤差模型
思考題
參考文獻

第3章MEMS加速度計
3.1MEMS加速度計基礎理論
3.1.1機械靈敏度
3.1.2帶寬
3.1.3機械熱噪聲
3.2MEMS加速度計信號轉換方式
3.2.1電容檢測式MEMS加速度計
3.2.2壓電檢測式MEMS加速度計
3.2.3壓阻檢測式MEMS加速度計
3.2.4隧道電流檢測式MEMS加速度計
3.2.5諧振式MEMS加速度計
3.3電容式MEMS加速度計信號檢測技術
3.3.1微弱電容檢測原理
3.3.2閉環檢測技術
3.4蝶翼式MEMS加速度計
3.4.1蝶翼式MEMS加速度計結構設計及工作原理
3.4.2蝶翼式MEMS加速度計加工工藝
3.4.3蝶翼式MEMS加速度計性能測試
思考題
參考文獻
……

第4章機械轉子陀螺
第5章振動式MEMS陀螺
第6章光學陀螺
第7章新型慣性傳感器技術
第8章慣性傳感器的精度測試與環境試驗

慣性傳感器技術是慣性導航、制導控制、姿態測量、過載檢測的核心支撐，廣泛應用於軍事武器裝備平臺、民用消費產品和工業設備等領域。近代力學、光學、材料學以及微電子技術、計算機技術等科學技術的飛速發展，極大地促進了慣性傳感器技術的發展。本書內容涵蓋了典型慣性傳感器的基本原理、組成結構、信號處理、誤差模型、應用領域以及測試與評估。加速度計方面，主要介紹了擺式加速度計和微機電加速度計。陀螺儀方面，主要介紹了機械轉子陀螺、微機電陀螺和光學陀螺。此外，還介紹了基於新原理或新工藝的慣性傳感器。本書可作為高等院校導航工程專業本科生的教材，也可供相關領域的研究、設計人員作為參考用書。