●前言
注釋說明彙集表
第1章 緒論
1.1 高折射率差超結構的研究意義
1.2 高折射率差超結構的研究進展
1.2.1 高折射率差光柵反射鏡
1.2.2 高折射率差光柵偏振分束器
1.2.3 高折射率差光柵功分器
1.2.4 高折射率差光柵濾波器
1.3 高折射率差光柵與光探測器集成的研究進展
1.3.1 高折射率差光柵與PIN光探測器的集成
1.3.2 高折射率差光柵與RCE光探測器的集成
1.3.3 高折射率差光柵與其他類型光探測器的集成
1.4 高折射率差光柵與VCSEL集成的研究進展
參考文獻
第2章 光波導基礎
2.1 光波導種類
2.2 光波導的幾何光學理論
2.2.1 平面光波導的幾何光學理論
2.2.2 全反射的條件
2.3 光波導電磁理論
2.3.1 平面光波導的波動方程
2.3.2 平面光波導的傳輸模式
2.4 階躍折射率光波導
2.4.1 TE模式中的場分布
2.4.2 模式本征方程求解
2.5 條形光波導
2.5.1 馬卡梯裡近似
2.5.2 Exm,n模式
2.5.3 Eym,n模式
2.6 衍射光柵
參考文獻
第3章 高折射率差光柵理論方法與制備工藝
3.1 高折射率差光柵理論
3.1.1 嚴格耦合波分析法
3.1.2 分析法
3.2 高折射率差光柵寬帶高反高透原理
3.3 高折射率差光柵的相位控制原理
3.3.1 一維高折射率差光柵的波前相位控制原理
3.3.2 二維高折射率差光柵的波前相位控制原理
3.4 高折射率差光柵制備工藝
3.4.1 電子束曝光
3.4.2 干法刻蝕
3.4.3 制備工藝流程
參考文獻
第4章 一維高折射率差光柵器件
4.1 具有光束偏轉功能的一維高折射率差光柵反射鏡
4.1.1 實現光束偏轉功能的相位分布
4.1.2 結構設計
4.1.3 理論仿真
4.1.4 一維高折射率差光柵反射鏡制備
4.1.5 實驗測試和分析
4.2 具有光束會聚功能的一維高折射率差光柵反射鏡
4.2.1 實現光束會聚功能的相位分布
4.2.2 結構設計
4.2.3 理論仿真
4.2.4 一維高折射率差光柵反射鏡制備
4.2.5 實驗測試和分析
4.3 具有光束會聚功能的一維高折射率差光柵偏振分束器
4.3.1 結構設計
4.3.2 理論仿真
4.4 具有偏振穩定特性的一維高折射率差光柵偏振分束器
4.5 具有光束偏轉功能的一維高折射率差光柵偏振分束器
4.5.1 器件總體結構模型
4.5.2 器件上層結構的設計
4.5.3 器件下層結構的設計
4.5.4 整體結構的仿真與分析
4.6 具有透射會聚功能的一維高折射率差光柵功率分束器
4.6.1 透射會聚型光柵1×4功率分束器設計
4.6.2 仿真與分析
4.7 反射會聚型高折射率差光柵1×4功率分束器設計與仿真
4.7.1 反射會聚型光柵1×4功率分束器設計
4.7.2 仿真與分析
4.7.3 反射型功分器的制備
4.7.4 實驗測試與分析
參考文獻
第5章 二維高折射率差光柵器件
5.1 具有光束會聚功能的同心環高折射率差光柵反射鏡
5.1.1 結構設計
5.1.2 理論仿真
5.1.3 同心環高折射率差光柵反射鏡制備
5.1.4 實驗測試和分析
5.2 二維高折射率差光柵透鏡
5.2.1 結構設計
5.2.2 理論仿真
5.3 具有光束會聚功能的二維高折射率差光柵功分器
5.3.1 結構設計
5.3.2 理論仿真
5.3.3 二維高折射率差光柵功分器制備
5.3.4 實驗測試和分析
5.4 二維高折射率差光柵濾波器
5.4.1 結構設計
5.4.2 理論仿真
參考文獻
第6章 基於高折射率差光柵超結構的集成器件
6.1 基於超結構光束會聚反射鏡的PIN光探測器
6.1.1 PIN光探測器的原理
6.1.2 基於超結構反射鏡的PIN光探測器的原理
●
●6.1.3 結構設計與仿真
●
●……
高速光通信繫統的飛速發展對光電子器件性能提出了更高的要求,與新型微納超結構集成的光器件已經成為光通信發展的必然需求之一。高折射率差光柵作為一種新型微納超結構,已經廣泛地應用在高性能光電子器件中,將新型高折射率差光柵與半導體光探測器、激光器等有源器件集成,可以顯著地拓展其器件的功能。本書以高折射率差光柵為主要研究對像,全面闡述了該超結構器件的理論設計方法、制備工藝及測試方法,較為繫統、完整地介紹了基於高折射率差光柵結構的不同功能器件的性能指標、應用,以及未來的發展趨勢。通過閱讀本書,讀者可以全面了解相關的技術原理和應用前景。
本書適用於光電子、光電信息工程、光通信等專業領域的高年級本科生及研究生學習和參考,對上述領域內從事研究、開發、生產的工程技術及研究人員也有重要的參考價值。