宣傳詞：加快國產替代，振我中華之芯！229個知識點，188張設備與構造圖表日本有名半導體專家佐籐淳一從業30多年積澱國內半導體行業知名專家，《半導體簡史》作者王齊推薦電子科技大學電子科學與工程學院教授王憶文推薦華為公司高級顧問、信息通信行業專家李翔宇推薦無塵室、清洗與干燥、離子注入和熱處理、光刻、刻蝕、成膜、平坦化、檢測和分析、後段制程

●前言
第1章半導體制造設備行業的現狀
1-1總覽半導體制造設備
半導體制造設備的地位
本書的脈絡
制造設備和制造工藝流程的關繫
1-2半導體制造設備的市場規模
半導體行業的市場規模
電子行業的市場規模
硅晶圓的市場規模
1-3半導體設備制造商和範式轉移
半導體黎明期的制造設備
半導體制造設備制造商的變遷
範式轉移
代工廠·無晶圓廠的登場
……

本書以簡潔明了的結構向讀者展現了半導體制造工藝中使用的設備基礎和構造。全書涵蓋了半導體制造設備的現狀以及展望，同時對清洗和干燥設備、離子注入設備、熱處理設備、光刻設備、蝕刻設備、成膜設備、平坦化設備、監測和分析設備、後段制程設備等逐章進行解說。雖然包含了很多生澀的詞彙，但難能可貴的是全書提供了豐富的圖片和表格，幫助讀者進行理解。相信本書一定能帶領讀者進入一個半導體制造設備的立體世界。
本書適合從事半導體與芯片加工、設計的從業者，以及準備涉足上述領域的上班族和學生閱讀參考。

(日)佐籐淳一 著 盧濤 譯