作 者:莫錦秋,梁慶華,王石剛 編著
定 價:58
出 版 社:化學工業出版社
出版日期:2015年08月01日
頁 數:191
裝 幀:平裝
ISBN:9787122238832
《微機電繫統及工程應用》是“現代機電一體化技術叢書”之一。本叢書邀請了研究光機電一體化很好科研院校的多位專家參與編寫，另外靠前沒有將光、機、電一體化技術作為一個整體技術門類來介紹的同類書。
●第1章概論/001
●1.1微機電繫統的定義/1
●1.2微機電繫統的發展現狀/3
●第2章微尺度效應/6
●2.1概述/6
●2.2微執行器的尺度效應/7
●2.2.1靜電執行器的尺度效應/7
●2.2.2電磁執行器的尺度效應/8
●2.2.3SMA執行器的尺度效應/9
●2.3微流體的尺度效應/9
●2.4微尺度熱學/11
●2.4.1熱傳導的尺度效應 /12
●2.4.2熱交換的尺度效應/13
●2.4.3熱輻射的尺度效應/13
●2.5微摩擦基礎/13
●2.6尺度效應的一個實例/14
●第3章微機電繫統材料/16
●3.1概述/16
●3.2硅材料/16
●3.3壓電材料/18
●部分目錄
本書主要從普及的角度介紹了微機電繫統及其相關技術的應用。全書共12章，分別對微機電繫統的定義、起源及研究現狀、制造技術、繫統構成、設計技術進行了深入淺出、通俗易懂的介紹。本書的特點是信息量大、繫統全面，包含了微機電繫統制造過程中微機械加工、微封裝、微檢測各個環節；微機電繫統構成中的各種微傳感器、微執行器、微構件、微繫統的工作機理；優選的微機電繫統設計技術以及計算機輔助技術；多種設計手段和實用軟件。
本書可供希望了解或采用微機電繫統的工程技術人員閱讀，也可作為機械工程類學生學習專業選修課的參考書。
