●序言
前言
第1章 緒論
1.1 聲波器件基礎
1.1.1 體聲波與聲表面波
1.1.2 基本壓電方程
1.2 FBAR簡介
1.2.1 FBAR的發展
1.2.2 FBAR的基本結構
1.2.3 幾種常見的工作模態
1.3 FBAR的力學簡化模型
1.3.1 一維無限大板模型
1.3.2 二維截面模型
1.3.3 等效三維模型
1.3.4 三維準確模型
參考文獻
第2章 FBAR的頻散曲線
2.1 簡介
2.2 模值收斂算法
2.2.1 尋找函數模的局部極小值點
2.2.2 從局部極小值點中區分出零點
2.2.3 純實數、純虛數頻散方程的求解
2.3 FBAR頻散方程
2.4 結果與討論
2.5 總結
參考文獻
第3章 TE-FBAR二維高階板理論建立
3.1 理論基礎
3.1.1 二維高階板理論
3.1.2 二階理論
3.1.3 修正繫數
3.2 FBAR的二維二階板理論
3.3 頻散關繫驗證
3.4 結果與討論
3.5 總結
參考文獻
第4章 TE-FBAR二維板理論應用
4.1 理論基礎
4.1.1 狀態向量法
4.1.2 導納計算方法
4.2 接近覆蓋電極模型
4.2.1 接近覆蓋電極模型背景介紹
4.2.2 傳遞矩陣基本方程
4.2.3 接近覆蓋電極模型自由振動分析
4.2.4 接近覆蓋電極模型受迫振動分析
4.3 部分覆蓋電極模型
4.3.1 部分覆蓋電極模型背景介紹
4.3.2 部分覆蓋電極模型傳遞矩陣方程
4.3.3 部分覆蓋電極模型振動分析
4.4 TE-FBAR：Frame型結構
4.4.1 Frame型結構背景介紹
4.4.2 Frame型結構傳遞矩陣方程
4.4.3 Frame型結構振動分析
4.5 總結
參考文獻
第5章 TS-FBAR二維板理論建立
5.1 簡介
5.2 理論基礎
5.2.1 三維彈性理論
5.2.2 二維一階板理論
5.2.3 修正繫數
5.2.4 頻散關繫驗證
5.3 二維截面模型
5.3.1 理論推導
5.3.2 接近覆蓋電極模型
5.3.3 單端/雙端口模型
5.3.4 Frame型結構
5.4 總結
參考文獻
第6章 TS-FBAR二維板理論應用：等效三維模型
6.1 理論基礎
6.1.1 簡介
6.1.2 TS-FBAR簡化二維板理論
6.1.3 結果與討論
6.2 高階板理論解法
6.3 等效三維模型的耦合振動
6.4 總結
參考文獻
第7章 TE-FBAR二維標量微分方程的建立
7.1 簡介
7.2 理論基礎
7.2.1 純厚度拉伸振動
7.2.2 小擾動假設
7.2.3 二維標量微分方程
7.3 二維標量微分方程解法
7.4 結果與討論
7.4.1 頻散關繫驗證
7.4.2 接近覆蓋電極模型分析
7.5 總結
參考文獻
第8章 TE-FBAR二維標量微分方程的應用
8.1 理論基礎
8.1.1 純厚度模態的受迫振動
8.1.2 等效三維模型的受迫振動
8.2 接近覆蓋電極模型
8.2.1 接近覆蓋電極模型背景介紹
8.2.2 接近覆蓋電極模型基本方程
8.2.3 接近覆蓋電極模型振動分析
8.3 二維截面模型的Frame型結構優化
8.3.1 Frame型結構背景介紹
8.3.2 Frame型結構自由振動分析
8.3.3 Frame型結構受迫振動分析
8.4 矩形電極模型及其Frame型結構優化
8.4.1 矩形電極模型背景介紹
8.4.2 矩形電極模型自由振動分析
8.4.3 矩形電極模型受迫振動分析
8.5 圓形電極模型與橢圓形電極模型
8.5.1 圓形、橢圓形電極模型背景介紹
8.5.2 圓形電極及其Frame構型自由振動分析
8.5.3 圓形電極及其Frame構型受迫振動分析
8.5.4 橢圓形電極及其Frame構型自由振動分析
8.5.5 橢圓形電極及其Frame構型受迫振動分析
8.6 TE-FBAR：五邊形電極模型
8.6.1 五邊形電極模型背景介紹
8.6.2 五邊形電極自由振動分析
8.6.3 五邊形電極受迫振動分析
8.7 總結
參考文獻
附錄 第7章公式詳細推導過程

薄膜體聲波諧振器（FBAR）是一種利用壓電效應制成的高精度頻率基準器件，廣泛應用於通信與傳感領域。與傳統諧振器相比，FBAR具有高頻率、微尺寸、易加工、易集成等優勢，更符合現代電子器件的發展趨勢。然而，FBAR的結構振動分析涉及結構的復雜性、材料各向異性、高頻率振動、多模態耦合、多物理場耦合等多方面的技術難題，目前，無論在學術界還是工業界，依然缺乏高效可靠的理論分析工具供研發人員使用。本書從線彈性壓電理論出發，詳細介紹兩種適用於FBAR結構振動分析的二維近似理論，即基於冪級數展開法的高階板理論及基於小擾動假設的二維標量微分方程理論。通過介紹這兩種近似方法的應用，探討FBAR結構振動分析中的一繫列常見問題，包括模態耦合效應的基本規律、能陷效應及其應用、寄生模態的特征分析及抑制等。本書不僅適合高年級研究生對壓電結構振動問題的學習，而且能夠幫助諧振器相關領域的從業人員加深對器件工作機理的認識和理等