作 者:(美)穆阿姆梅爾·科馳( ammer Koc),(美)圖格魯勒·歐澤勒(Tugrul Ozel) 主編；於化東 主譯
定 價:98
出 版 社:國防工業出版社
出版日期:2017年01月01日
頁 數:340
裝 幀:平裝
ISBN:9787118108460
●第一章微制造基礎
●1.1引言
●1.2微成形(微尺度變形加工)
●1.2.1微成形加工中的尺寸效應
●1.2.2微尺度變形數值仿真
●1.3分立零件微制造的機械微加工
●1.3.1機械微加工中的尺寸效應
●參考文獻
●第二章半導體工業中的微制造工藝
●2.1引言
●2.2半導體襯底
●2.2.1硅
●2.2.2硅片制造
●2.2.3硅的氧化
●2.2.4碳化硅(SiC)與砷化鎵(GaAs)
●2.3化學氣相沉積(CVD)
●2.3.1CVD的類型
●2.3.2CVD生長的優缺點
●2.4光刻技術
●2.5物理氣相沉積(PVD)
●部分目錄
《微制造：微型產品的設計與制造》在世界範圍內收集了微制造領域有名學者的研究成果，全面總結了微制造技術的近期新進展，繫統介紹了機械微制造、激光微制造、微鍛造、微成形及分層微制造等微制造工藝，同時闡述了微制造過程的建模與分析，另外還介紹了微尺度下測量、檢測及質量控制等的基本手段和方法。該書是靠前上靠前部關於非硅機械微制造的著作，技術優選、學術思想新穎、內容具體詳實，對我國微制造領域的研究發展具有較大推動作用。本書可供機械、材料、生物醫學工程、微電子學等專業的師生和研究人員參考，也可供相關專業的企業技術人員閱讀。
(美)穆阿姆梅爾·科馳( ammer Koc),(美)圖格魯勒·歐澤勒(Tugrul Ozel) 主編；於化東 主譯
穆阿姆梅爾·科馳博士是美國國家自然科學基金委工業與大學合作精密成形研究中心主任，弗吉尼亞聯邦大學機械工程繫副教授，伊斯坦布爾城市大學工業工程繫副教授。研究領域包括微制造過程與繫統、微制造、微納觀功能表面結構設計以及產品創新。
圖格魯勒·歐澤勒博士是美國羅格斯大學制造與自動化研究實驗室主任，工業與繫統工程繫副教授。研究領域包括制造過程與自動化繫統、加工過程計算模擬、激光微納加工以及微型產品的設計與制造。
於化東，男，1961年出生，工學博士，長春理工大學機電工程學院教授，博士生導師，俄羅斯聖彼得堡國立研究型信息技術機械與光學大學榮譽博士。現任吉林省精密微制造、檢測及裝備重點實驗室等
