本書在《微納米加工技術及其應用》(第三版)的基礎上，做了部分修訂，增加了微納米加工技術在過去6年中的一些近期新進展，特別是大規模集成電路光刻技術的進步。第四版仍保持第三版的風格，著重對各種加工技術的原理進行闡述，列舉基本的工藝步驟，說明各種工藝條件的由來，並注意給出典型工藝參數；充分分析了各種技術的優缺點，包括每種加工技術的能力與極限及在應用過程中的注意事項。全書強調實用，避免煩瑣的數學分析，而以大量圖例加以說明:既注重基礎知識又兼顧微納米加工領域近年來的近期新進展。在應用方面主要介紹了微納米加工技術在超大規模集成電路加工、納米電子學、高密度磁存儲技術、光電子技術、微機電繫統技術、生物芯片技術與納米技術中的典型應用。每一章都列舉了大量相關參考文獻，供進一步發掘詳細信息與深入研究。本書無論對初次涉足這一領域的大專院校的本科生或研究生，還是已經有一定工作經驗的專業科技人員，都具有很好的參考價值等
