內容簡介
本書較全面地介紹了有關薄膜材料制備技術的基礎知識，總結了近年來薄膜材料制備領域的新進展，並融入了作者多年來在從事薄膜材料研究中所取得的成果。全書共10章，第l章主要介紹了薄膜材料的基本概念、特征，並扼要介紹了薄膜材料的物性和結構的分析方法。第2章和第3章講述的是有關薄膜制備技術中涉及的基礎知識，包括真空技術和等離子體技術等。第4章和第5章是本書的重點，著重討論了制備薄膜材料的物理氣相沉積技術和化學氣相沉積技術的基本原理和方法，包括蒸發、濺射、離子束、脈衝激光和等離子體化學氣相沉積技術，以及分子束外延和液相法生長技術等。第6章討論了薄膜材料的厚度和沉積速率的檢測方法。第7～10章則有選擇地介紹了當前國際上研究的幾種熱點薄膜材料的制備和檢測技術，如超低和超高介電常數薄膜、發光薄膜、超硬薄膜、巨磁電阻薄膜等，其目的是使讀者進一步了解薄膜材料的廣泛應用及其發展方向。
本書可供從事薄膜材料研究的科研工作者參考，也可以作為物理學、材料科學與工程、電子科學與技術等專業高年級本科生或研究生的參考讀物。
本書可供從事薄膜材料研究的科研工作者參考，也可以作為物理學、材料科學與工程、電子科學與技術等專業高年級本科生或研究生的參考讀物。
