了得網研究生_微納米測量技術

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微納米測量技術
該商品所屬分類：研究生 -> 工學
【市場價】	120-172元
【優惠價】	75-108元
【作者】	王伯雄
【所屬類別】	圖書教材研究生/本科/專科教材工學圖書工業技術電子通信半導體技術
【出版社】	清華大學出版社
【ISBN】	9787302130635
【折扣說明】	一次購物滿999元台幣免運費+贈品一次購物滿2000元台幣95折+免運費+贈品一次購物滿3000元台幣92折+免運費+贈品一次購物滿4000元台幣88折+免運費+贈品
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內容介紹

紙張：膠版紙

包裝：平裝

是否套裝：否

國際標準書號ISBN：9787302130635

叢書名：清華大學微機電繫統工程繫列教材

作者：王伯雄

出版社：清華大學出版社

出版時間：2006年08月

內容簡介

本書講述了微納米測量技術的基本理論和方法、微納米測量繫統的工作原理及構成以及對不同物理量的微納米測量應用。
全書共4章，內容包括：微納米測量技術的意義、特點和研究的內容；微型傳感器的工作原理及其典型應用；微納米測量技術中的光學方法，光學測量繫統的結構及應用；微納米尺度的幾何量、表面粗糙度、表面微觀形貌、MEMS材料機械特性、微應力和微應變、微位移、速度和加速度、振動、聲和超聲等典型物理量的測量技術應用。
本書可作為高等院校微機電繫統工程、測控、儀器、自動化、機電一體化等專業的本科生和研究生教材，也可作為工程技術人員的參考書。

1 緒論
1.1 測量和測量繫統
1.2 微納米技術和微繫統技術
1.2.1 微納米技術的產生和發展
1.2.2 微繫統技術
1.2.3 微繫統技術加工方法
1.2.4 微納米材料的特性
1.3 微納米測量技術的任務
1.4 課程學習的主要內容
習題
2 信號的傳感及微型傳感器
2.1 MEMS技術與微型傳感器
2.2 加速度微傳感器
2.2.1 基本原理1 緒論
1.1 測量和測量繫統
1.2 微納米技術和微繫統技術
1.2.1 微納米技術的產生和發展
1.2.2 微繫統技術
1.2.3 微繫統技術加工方法
1.2.4 微納米材料的特性
1.3 微納米測量技術的任務
1.4 課程學習的主要內容
習題
2 信號的傳感及微型傳感器
2.1 MEMS技術與微型傳感器
2.2 加速度微傳感器
2.2.1 基本原理
2.2.2 壓阻式微加速度計
2.2.3 電容式和力平衡（伺服）式加速度計
2.2.4 各類微加速度傳感器的性能比較
2.3 微型力、壓力、應變傳感器
2.3.1 基本原理
2.3.2 微力傳感器
2.3.3 微應力敏感電子裝置
2.3.4 微壓力傳感器
2.3.5 壓阻式壓力傳感器
2.3.6 電容式壓力傳感器
2.3.7 微應變傳感器
2.4 速度和流量微傳感器
2.4.1 基本原理
2.4.2 熱敏電阻式微流量傳感器
2.4.3 壓阻式微型流量傳感器
2.4.4 電容式微型流量傳感器
2.4.5 諧振橋式微流量傳感器
2.5 質量微傳感器
2.5.1 基本原理
2.5.2 壓電質量微傳感器
2.5.3 SAWR微傳感器
2.6 隧道效應式傳感器
2.6.1 基本原理
2.6.2 隧道效應加速度計
2.6.3 隧道效應紅外傳感器
2.6.4 隧道效應式磁強計
2.7 光纖傳感器
2.7.1 光纖結構及光導原理
2.7.2 光纖特性
2.7.3 光纖傳感器原理及結構
習題
3 微納米測量技術的光學方法
3.1 自動調焦法
3.1.1 自動調焦原理
3.1.2 輪廓測量
3.1.3 三維形貌測量
3.1.4 自動調焦方法的應用
3.2 三角法測量原理及應用
3.2.1 點三角法傳感器的基本結構及作用原理
3.2.2 三角法測量傳感器中光源的選擇
3.2.3 不同檢測方案的比較
3.2.4 影響三角法測量精度的因素
3.2.5 點三角法傳感器的典型特性
3.2.6 三角法傳感器的應用
3.2.7 激光光切法傳感器
3.2.8 光切法傳感器的光源和探測器
3.2.9 圖像評價
3.2.10 光切法的應用
3.3 莫爾條紋法和投影條紋法
3.3.1 莫爾條紋法
3.3.2 陰影莫爾法
3.3.3 投影莫爾法
3.4 投影條紋法
3.4.1 作用原理
3.4.2 編碼式光切法
3.5 光學顯微測量技術
3.5.1 顯微鏡的工作原理
3.5.2 測量顯微鏡
3.6 光干涉測量技術
3.6.1 相移干涉測量技術
3.6.2 白光干涉測量技術
3.6.3 顯微干涉測量技術
3.7 激光掃描顯微測量技術
3.7.1 自聚焦激光掃描顯微鏡
3.7.2 共焦激光掃描顯微鏡
3.8 掃描電子顯微鏡技術
3.8.1 電子顯微鏡的工作原理
3.8.2 掃描電子顯微鏡
3.8.3 掃描電子顯微鏡的應用
3.9 原子力顯微鏡技術
3.9.1 原子力顯微鏡的工作模式
3.9.2 微懸臂形變檢測方法
3.9.3 原子力顯微鏡的應用
習題
4 典型物理量和MEMs繫統特征參數的測量技術
4.1 MEMS器件幾何結構特征參數測量
4.1.1 微米尺度的幾何量測量
4.1.2 納米尺度的幾何量測量與納米測量學
4.2 表面粗糙度與表面微觀形貌測量
4.2.1 表面粗糙度與表面微觀形貌的評價方法
4.2.2 表面粗糙度與表面微觀形貌的測量方法
4.3 MEMS材料機械特性的測試
4.3.1 拉仲測試法
4.3.2 彎曲梁法
4.3.3 納米壓入法
4.3.4 鼓膜法
4.3.5 共振頻率法
4.4 力、應力和應變的測量
4.4.1 MEMS結構中的應力和應變
4.4.2 應力、應變對MEMS結構的影響
4.4.3 MEMS結構中應力和應變的測量方法
4.5 微位移、速度、加速度和振動等微機械量的測量
4.5.1 計算機微視覺與頻閃光照明技術在微機械量檢測中的應用
4.5.2 干涉技術在微機械量檢測中的應用
4.5.3 光纖技術在微機械量檢測中的應用
4.6 聲和超聲等其他物理量的測量
4.6.1 聲頻的測量
4.6.2 聲壓測量技術
4.6.3 聲強測量技術
4.6.4 其他聲學參數測量技術
4.6.5 聲學測量技術
習題
參考文獻

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