薄膜及微細加工技術的應用範圍極為廣泛,從大規模集成電路器件、平板顯示器、信息記錄與存儲、MEMS、傳感器、白光LED固體照明、太陽能電池到材料的表面改性等,涉及高新技術產業的各個領域。本書內容包括真空技術基礎、薄膜制備、微細加工、薄膜材料及應用等4大部分,涉及薄膜技術與薄膜材料的各個方面,知識全面,脈絡清晰。全書共17章,文字通俗易懂,並配有大量圖解,每章後面附有習題,有利於對基本概念和基礎知識的理解、掌握與運用。本書可作為材料、機械、精密儀器、化工、能源、微電子、計算機、物理、化學、光學等學科本科生及研究生教材,對於從事相關行業的科技工作者與工程技術人員,也具有極為難得的參考價值。