第1章 緒論

1.1 概述

1.2 固體潤滑

1.2.1 固體潤滑特性

1.2.2 固體潤滑機理

1.2.3 摩擦學繫統

1.3 超低摩擦 DLC膜

1.3.1 超低摩擦

1.3.2 DLC膜超低摩擦的起源

1.3.3 DLC 膜的結構概述

1.3.4 DLC 膜的制備概述

1.4 DLC膜超低摩擦行為的研究現狀

1.4.1 真空/惰性氣體

1.4.2 潮濕空氣

1.4.3 油潤滑

1.4.4 溫度

1.4.5 速度和載荷

1.4.6 DLC膜應用中存在的問題

1.5 DLC 膜超低摩擦機理

1.5.1 轉移膜理論

1.5.2 化學吸附鈍化懸掛鍵理論

1.5.3 滑行界面石墨化理論

1.6 本章小結

第 2 章 DLC 膜的制備

2.1 概述 2.2 物理氣相沉積法

2.2.1 離子束沉積法

2.2.2 直流濺射法

2.2.3 磁控濺射法

2.3 化學氣相沉積法

2.3.1 等離子體增強化學氣相沉積法概述

2.3.2 PECVD法分類

2.4 電化學沉積法

2.4.1 電化學沉積特性

2.4.2 電化學沉積過程

2.5 本章小結

第3 章 DLC 膜的結構及表征

3.1 概述

3.2 DLC膜的雜化方式

3.2.1 雜化種類

3.2.2 DLC膜的分類

3.3 DLC膜的結構表征

3.3.1 拉曼光譜

3.3.2 電鏡能譜

3.3.3 X射線光電子能譜

3.3.4 原子力顯微鏡

3.3.5 靜態飛行時間二次離子質譜

3.4 DLC膜的機械性能

3.4.1 硬度

3.4.2 結合強度

3.4.3 循環衝擊試驗

3.5 本章小結

第4 章 室溫下 DLC 膜的超低摩擦行為

4.1 概述

4.2 大氣下 DLC 膜的摩擦學性能

4.2.1 制備及性能測試

4.2.2 摩擦學性能

4.3 DLC膜的摩擦學性能

4.3.1 配副材料

4.3.2 載荷

4.3.3 速度

4.3.4 摩擦學機理

4.4 氮氣下 DLC膜的超低摩擦行為

4.4.1 膜基結合強度

4.4.2 DLC膜的摩擦學性能

4.4.3 超低摩擦機理

4.5 本章小結

第5 章 DLC 膜的硫化處理及超低摩擦行為

5.1 概述

5.2 DLC膜表面的硫化處理

5.2.1 DLC膜的制備

5.2.2 表面硫化處理

5.2.3 結構表征

5.3 DLC膜的摩擦學性能

5.3.1 摻氮DLC膜

5.3.2 表面硫化的 DLC膜的結構

5.3.3 表面硫化的 DLC膜的摩擦學性能

5.3.4 表面硫化機理

5.4 本章小結

第6章 油潤滑下DLC 膜的超低摩擦行為

6.1 概述

6.2 PAO 油

6.2.1 PAO 油選擇

6.2.2 黏度

6.3 PFPE 油

6.3.1 摩擦特性

6.3.2 磨損特性

6.4 納米潤滑添加劑

6.4.1 添加劑特性

6.4.2 添加劑種類

6.4.3 添加劑含量

6.4.4 潤滑機理

6.5 固液復合超滑行為

6.5.1 納米添加劑含量

6.5.2 超滑機理

6.6 高溫工況下固液復合潤滑

6.6.1 不同潤滑油

6.6.2 不同溫度

6.7 本章小結

第7章 高溫下DLC 膜的超低摩擦行為

7.1 概述

7.2 DLC膜的高溫超滑行為

7.2.1 高溫摩擦特性

7.2.2 高溫磨損特性

7.2.3 高溫磨損分析

7.2.4 高溫熱力學特性

7.2.5 高溫摩擦磨損機理

7.3 本章小結

第8 章 DLC 膜的高溫超低摩擦機理

8.1 概述

8.2 高溫摩擦試驗方案設計

8.3 超低摩擦設計

8.3.1 摩擦副設計

8.3.2 單晶Si片

8.3.3 無定形 Si膜

8.3.4 摻雜 Si的DLC膜

8.4 高溫超低摩擦行為

8.4.1 大氣環境

8.4.2 氮氣環境

8.5 磨損表面分析

8.5.1 拉曼光譜

8.5.2 EDS分析

8.5.3 XPS分析

8.5.4 TOF-SIMS分析

8.6 高溫超低摩擦機理

8.6.1 摩擦配副材料

8.6.2 高溫摩擦學化學機理

8.6.3 高溫超低摩擦形成條件

8.7 本章小結

參考文獻

名詞索引