"陳霖新，中國電子工程設計院原副總工程師，教授級高工；國務院政府津貼專家國家科技部；國家重點基礎研究發展計劃（973計劃）第三屆能源領域專家咨詢組副組長；全國氫能標準化技術委員會（SAC/TC309）第一屆主任委員；全國潔淨室及相關受控環境標準化技術委員會（SAC/TC319）顧問；全國勘察設計注冊公用設備工程師（動力工程）執業資格考試專家組副組長；中國可再生能源學會氫氣專業委員會顧問；中國動力工程學會第六屆至第八屆理事會理事（1995-2008年）；中國建築學會熱能動力分會第一屆至第六屆理事會理事；《動力工程》編委、《工廠動力》主編、《中國氣體》編委；中國動力工程學會工業氣體專業委員會第二、三屆主任委員，現任名譽主任委員；中國工業氣體工業協會特聘專家、氫氣專業委員會名譽主任委員等。

中國動力工程學會第六屆至第八屆理事會理事（1995-2008年）

中國建築學會熱能動力分會第 一屆至第六屆理事會理事

《動力工程》編委、《工廠動力》主編、《中國氣體》編委

中國動力工程學會工業氣體專業委員會第 二、三屆主任委員，現任名譽主任委員

中國工業氣體工業協會特聘專家、氫氣專業委員會名譽主任委員"

"第1篇潔淨廠房設計

第1章潔淨技術和潔淨室標準002

1.1潔淨技術的由來與發展002

1.1.1潔淨技術的由來002

1.1.2潔淨技術的發展與應用003

1.2潔淨室標準007

1.2.1國內外潔淨室標準發展狀況007

1.2.2我國的部分潔淨室標準簡介022

1.2.3部分國際潔淨室標準簡介029

參考文獻034

第2章潔淨廠房的總體設計035

2.1潔淨廠房的設計特點035

2.2產品生產工藝對生產環境的要求036

2.2.1產品生產工藝簡介036

2.2.2電子產品生產對生產環境的要求041

2.2.3醫藥產品生產對生產環境的要求045

2.3位置選擇與總平面布置046

2.3.1位置選擇046

2.3.2總平面布置050

2.4潔淨廠房的布置052

2.4.1平面布置052

2.4.2空間布置057

2.4.3潔淨室的工藝布置060

2.4.4人淨和生活用室的布置062

2.4.5物料淨化與布置068

參考文獻068

第3章潔淨廠房的安全消防設計069

3.1概述069

3.1.1高科技潔淨廠房的特點069

3.1.2潔淨廠房的安全消防072

3.2防火與疏散073

3.2.1生產火災危險分類073

3.2.2防火分區與分隔076

3.2.3安全疏散079

3.3防火與建材082

3.3.1耐火極限082

3.3.2對建築裝飾材料的防火要求083

3.3.3風管材料的防火要求084

3.4潔淨廠房的安全消防設施085

3.4.1潔淨室的防排煙085

3.4.2消防滅火設施087

3.4.3安全報警設施089

參考文獻095

第4章潔淨室建築096

4.1潔淨室與建築設計096

4.1.1潔淨建築設計的特點096

4.1.2潔淨廠房的組成097

4.1.3潔淨室建築設計要點097

4.2建築平面和空間布置098

4.2.1布置要求098

4.2.2人淨物淨用室的布置102

4.2.3管線組織103

4.2.4技術夾層/夾道105

4.2.5發展的靈活性107

4.2.6建築造型108

4.3潔淨室的建築裝飾109

4.3.1潔淨室建築裝飾特點和要求109

4.3.2潔淨室的氣密構造111

4.3.3潔淨室的裝配化115

4.3.4潔淨室門窗120

4.3.5地面裝修122

參考文獻126

第5章空氣淨化127

5.1污染源及污染物質127

5.1.1氣溶膠與粒狀污染物127

5.1.2微生物及其他生物粒子134

5.1.3化學污染物137

5.1.4外部污染物142

5.1.5室內污染源144

5.1.6空氣含塵濃度與含菌濃度146

5.2空氣淨化方法152

5.2.1空氣淨化處理152

5.2.2空氣過濾機理153

5.2.3空氣過濾器的特性157

5.2.4空氣過濾器161

參考文獻180

第6章淨化空調繫統設計181

6.1淨化空調繫統的劃分與配置181

6.1.1淨化空調繫統的特征與劃分181

6.1.2淨化空調繫統的配置182

6.1.3新風集中處理188

6.2氣流流型及送風量189

6.2.1氣流流型（air pattern）189

6.2.2潔淨室的送風量194

6.3靜壓差的控制198

6.3.1靜壓差的作用及規定198

6.3.2壓差風量及控制199

6.4淨化空調處理201

6.4.1計算參數的選擇201

6.4.2空調處理方案204

6.4.3特殊淨化空調繫統的空氣處理208

6.5空氣淨化設備210

6.5.1風機過濾機組210

6.5.2表冷器215

6.5.3空氣吹淋室和氣閘室215

6.5.4潔淨工作臺217

6.5.5生物安全櫃219

6.5.6層流罩等裝置222

參考文獻224

第7章潔淨廠房的排氣設施225

7.1排氣設施的特點225

7.1.1排氣特點225

7.1.2排氣繫統類型233

7.1.3排氣繫統組成234

7.2排氣處理設備238

7.2.1排氣處理設備類型238

7.2.2現場處理裝置249

7.3安全技術措施252

7.3.1基本要求252

7.3.2安全技術措施254

7.4潔淨廠房的防排煙設施255

參考文獻257

第8章潔淨廠房的給水排水設施258

8.1概述258

8.1.1給水排水設施簡況258

8.1.2給水繫統259

8.1.3排水繫統262

8.2純水供應繫統263

8.2.1純水水質263

8.2.2純水繫統268

8.2.3純水制備繫統272

8.2.4純水制備繫統的主要設備278

8.2.5純水制備繫統的控制和檢測289

8.3生產廢水處理及回收290

8.3.1生產廢水排放標準291

8.3.2廢水處理繫統295

參考文獻309

第9章氣體供應設施311

9.1概述311

9.1.1氣體品種和品質311

9.1.2氣體供應方式321

9.2高純大宗氣體繫統323

9.2.1繫統的設置和純化站323

9.2.2氣體純化設備326

9.2.3氣體過濾337

9.2.4管路及附件339

9.2.5高純氣體的測試、檢測342

9.3特種氣體供應繫統345

9.3.1特種氣體工藝繫統345

9.3.2特種氣體站房348

9.3.3特種氣體設備356

9.3.4特種氣體管路繫統360

9.3.5安全防護技術365

9.4干燥壓縮空氣供應繫統367

9.4.1供氣繫統367

9.4.2壓縮空氣干燥設備369

9.4.3干燥壓縮空氣管路及附件372

參考文獻373

第10章潔淨廠房的電氣設計374

10.1概述374

10.2潔淨廠房的供配電設計375

10.2.1基本要求375

10.2.2潔淨室的電氣設備378

10.2.3潔淨廠房供配電設計383

10.3潔淨廠房的電氣照明387

10.3.1基本要求387

10.3.2燈具的選擇與布置390

10.3.3照明節能395

10.4通信與安全設施397

10.4.1潔淨廠房的通信設施397

10.4.2潔淨廠房的消防安全設施397

10.4.3高科技潔淨廠房的生命安全繫統399

10.5自動控制401

10.5.1潔淨廠房的控制要求402

10.5.2自控繫統403

參考文獻407

第11章潔淨廠房的化學品供應408

11.1概述408

11.2化學品供應設施的設置410

11.2.1化學品儲存、分配間410

11.2.2對相關專業技術的要求412

11.3化學品繫統及設備415

11.3.1化學品供應繫統及設備415

11.3.2化學品回收繫統及設備421

11.4管路及其附件422

11.4.1管路布置及管材422

11.4.2雙層管道423

11.4.3化學品繫統及管路檢測424

11.5安全技術措施424

11.5.1基本要求424

11.5.2監控及安全繫統425

參考文獻426

第12章潔淨廠房的靜電防護427

12.1靜電的產生與危害427

12.1.1靜電的產生、消散427

12.1.2靜電效應與危害432

12.2靜電防護438

12.2.1簡述438

12.2.2防靜電材料及制品439

12.2.3防靜電工程裝飾440

12.2.4防靜電接地444

12.2.5靜電消除器447

12.2.6人體防靜電450

12.3防靜電檢測452

12.3.1一般要求452

12.3.2測試條件、測試儀器454

12.3.3各類防靜電檢測示例455

參考文獻459

第13章電磁干擾與防止460

13.1電磁干擾及危害460

13.1.1電磁干擾460

13.1.2電磁干擾的危害461

13.2潔淨廠房內的電磁干擾462

13.2.1電磁干擾的類型462

13.2.2電磁干擾的控制463

13.3電磁屏蔽465

13.3.1電磁屏蔽的設計465

13.3.2屏蔽室的設置與安裝467

參考文獻469

第14章潔淨廠房的噪聲控制470

14.1噪聲與噪聲控制470

14.1.1噪聲及其危害470

14.1.2噪聲控制參數471

14.1.3噪聲控制要求476

14.1.4噪聲測量480

14.2噪聲控制482

14.2.1潔淨廠房的噪聲源482

14.2.2噪聲控制措施485

14.3隔聲、消聲和吸聲488

14.3.1隔聲488

14.3.2吸聲493

14.3.3消聲497

參考文獻504

第15章潔淨廠房的微振控制505

15.1微振動控制505

15.1.1概述505

15.1.2微振動控制值的表述507

15.1.3微振動控制值的確定509

15.2防微振工程設計510

15.2.1防微振工程設計程序510

15.2.2位置選擇與防振距離512

15.2.3建築結構的防微振設計516

15.2.4隔振措施523

15.3隔振材料和隔振器531

15.3.1隔振材料531

15.3.2隔振器533

15.4微振動的測試分析538

15.4.1一般要求538

15.4.2微振動測試設備和儀器539

15.4.3微振動的測試分析540

參考文獻541

第16章潔淨廠房的節能542

16.1潔淨廠房能量消耗特征542

16.1.1能量消耗特征542

16.1.2潔淨廠房的節能潛力巨大544

16.2潔淨廠房的節能途徑545

16.2.1建築與建築熱工545

16.2.2淨化空調繫統節能546

16.2.3冷熱源節能552

16.3低品位熱（冷）能的回收利用556

16.3.1低品位熱能的回收558

16.3.2熱泵繫統的應用564

16.3.3自然冷卻的應用569

16.4能源綜合利用573

16.4.1融合潔淨廠房用能實現能源綜合利用573

16.4.2燃氣冷熱電聯供分布式能源繫統的應用575

參考文獻584

第2篇潔淨廠房的施工與質量驗收

第1章概述586

1.1潔淨廠房的施工內容586

1.2潔淨廠房的主要施工程序587

第2章潔淨廠房建築裝飾裝修施工589

2.1施工內容589

2.1.1施工基本要求589

2.1.2施工內容590

2.1.3施工準備592

2.2牆體、弔頂施工592

2.2.1基本要求592

2.2.2牆體、弔頂的施工594

2.2.3牆、柱、頂塗裝工程598

2.3地面（地板）施工600

2.3.1基本要求600

2.3.2地面（地板）施工安裝601

2.4潔淨室的門窗安裝606

2.4.1基本要求606

2.4.2門窗的施工安裝606

第3章淨化空調繫統施工安裝610

3.1施工內容、要求610

3.1.1施工內容610

3.1.2施工安裝基本要求611

3.1.3施工準備611

3.2風管及部件制作613

3.2.1基本要求613

3.2.2共板法蘭風管的制作614

3.2.3角鋼法蘭風管的制作618

3.2.4風管制作的加固和質量621

3.2.5風管清洗與漏光檢驗622

3.3風管繫統安裝624

3.3.1風管支弔架的制作、安裝624

3.3.2風管的安裝626

3.3.3部件的安裝627

3.3.4風管繫統的嚴密性試驗629

3.4淨化空調設備安裝630

3.4.1一般要求630

3.4.2空氣過濾器的安裝631

3.4.3組合式空調器的安裝632

3.4.4空氣淨化設備的安裝634

3.5防腐與保溫施工636

3.5.1一般要求636

3.5.2防腐636

3.5.3風管和設備的保溫638

3.6繫統調試640

3.6.1基本要求640

3.6.2單機試運轉641

3.6.3淨化空調繫統聯合試運轉642

第4章排風及排氣處理設備的施工安裝644

4.1概述644

4.1.1潔淨廠房的排風及排氣處理644

4.1.2基本要求645

4.2風管及部件的制作646

4.2.1一般要求646

4.2.2玻璃鋼風管的制作647

4.2.3硬聚氯乙烯風管的制作648

4.2.4螺旋風管的制作652

4.2.5玻鎂風管的制作654

4.2.6聚氨酯鋁箔復合風管的制作656

4.3排風繫統安裝658

4.3.1基本要求658

4.3.2玻璃鋼風管的安裝659

4.3.3硬聚氯乙烯風管的安裝660

4.3.4螺旋風管的安裝661

4.3.5玻鎂風管的安裝662

4.3.6雙面鋁箔聚氨酯復合風管的安裝664

4.3.7部件的安裝665

4.4排氣處理設備安裝665

4.4.1一般要求665

4.4.2排氣處理設備施工安裝666

4.4.3排氣處理設備的調試667

第5章配管工程施工與驗收669

5.1簡述669

5.1.1種類和材質669

5.1.2配管施工與驗收的基本要求670

5.2碳鋼管道施工672

5.2.1無縫鋼管、焊接鋼管的施工672

5.2.2熱鍍鋅鋼管的施工安裝676

5.3BA/EP不鏽鋼管施工679

5.3.1BA/EP不鏽鋼管的施工安裝要求679

5.3.2EP不鏽鋼管道的施工安裝680

5.4工程塑料管道安裝施工684

5.4.1PP/PE、PVC和PVDF管道的施工安裝要求684

5.4.2PVC管道的施工安裝686

5.4.3PP/PE管道的施工安裝688

5.4.4PFA CPVC雙層管道的施工安裝690

5.4.5PVDF管道的施工安裝692

第6章潔淨室電氣設施的施工安裝698

6.1簡述698

6.2電氣線路施工安裝698

6.2.1橋架安裝698

6.2.2導管的施工安裝701

6.2.3導管的穿線施工706

6.2.4電纜敷設709

6.2.5封閉插接母線安裝712

6.3電氣裝置安裝715

6.3.1一般要求715

6.3.2配電櫃（盤）、箱安裝715

6.3.3照明燈具安裝718

6.3.4開關插座安裝720

6.3.5接地繫統安裝720

第7章改造潔淨室設計施工722

7.1簡述722

7.2改造潔淨室的設計723

7.2.1做好改造潔淨室的平面布置723

7.2.2合理選擇淨化空調繫統724

7.2.3重視動力公用和安全設施的改造725

7.3潔淨室的升級改造726

7.4改造施工注意事項727

第8章工程驗收730

8.1潔淨室工程驗收與檢測目的、依據730

8.2基本要求731

8.2.1工程驗收731

8.2.2潔淨室的檢測732

8.3工程驗收的三階段736

8.3.1竣工驗收736

8.3.2性能驗收737

8.3.3使用驗收737

8.4工程驗收的測試要求738

8.4.1一般要求738

8.4.2三階段驗收的檢測要求738

第9章潔淨室的檢測740

9.1簡述740

9.2潔淨室淨化空調繫統的調試741

9.2.1調試準備741

9.2.2淨化空調繫統調試742

9.2.3壓差調試745

9.2.4水繫統調試747

9.2.5控制裝置調試748

9.3檢測方法749

9.3.1國內外潔淨室檢測方法概況749

9.3.2潔淨室性能測試方法756

9.4檢測儀器779

9.4.1基本要求779

9.4.2潔淨室檢測儀器783

9.5檢測報告和檢測案例788

9.5.1簡述788

9.5.2檢測報告789

9.5.3潔淨工程檢測案例790

參考文獻810

第3篇潔淨室的運行管理

第1章概述812

1.1潔淨廠房運行管理的基本要求812

1.2運行管理內容813

1.2.1目的和原則813

1.2.2潔淨室運行管理的內容815

第2章人員管理817

2.1人員淨化和人淨管理817

2.1.1人是潔淨室的主要污染源817

2.1.2人員淨化管理819

2.2潔淨室人員控制和出入管理821

2.2.1基本要求821

2.2.2人員出入的管理822

2.3潔淨工作服和個人衛生管理823

2.3.1基本要求823

2.3.2潔淨工作服的穿戴823

2.3.3個人衛生824

2.4專職管理人員及其職責825

2.4.1專職管理人員的設置825

2.4.2專職管理人員的主要職責825

2.5紀律和行為826

2.5.1作業人員的行為規範826

2.5.2物品管理和搬運規定827

2.6人員培訓829

2.6.1培訓要求829

2.6.2培訓內容829

第3章潔淨工作服832

3.1功能與分類832

3.1.1潔淨服的功能與特性832

3.1.2潔淨服的類型833

3.2潔淨服的材料837

3.2.1材料選擇要求837

3.2.2潔淨服面料的類型和性能838

3.3潔淨服的設計制作841

3.3.1潔淨服的設計841

3.3.2潔淨服的制作842

3.4潔淨服的更換、清洗845

3.4.1潔淨服的更換845

3.4.2潔淨服的清洗846

3.5潔淨服的檢測849

第4章潔淨室的清潔850

4.1潔淨室清潔的基本要求850

4.1.1簡述850

4.1.2清潔的基本要求850

4.1.3表面分類851

4.2潔淨室的清潔方法852

4.2.1基本清潔類型852

4.2.2清潔方法852

4.2.3表面清潔853

4.3潔淨器具、用品855

4.3.1真空清潔設備及配件855

4.3.2清潔用品858

4.3.3垃圾、回收物容器859

4.4清潔計劃860

4.4.1清潔計劃的制訂860

4.4.2清潔作業的實施860

4.5清潔效果的監測863

第5章潔淨室的設備、材料管理865

5.1概述865

5.2固定設備865

5.2.1搬運和進/出管理865

5.2.2固定設備的安裝867

5.2.3維護和修理868

5.3材料和便攜設備869

5.3.1選擇和類型869

5.3.2進/出潔淨室的管理871

第6章潔淨室的張貼物與標識872

6.1簡述872

6.1.1張貼物與標識的類型872

6.1.2潔淨室張貼物與標識的基本要求872

6.2張貼物與標識的內容873

6.2.1張貼物873

6.2.2標識（標簽）873

參考文獻876"

"前言

本書2003年出版第一版，自出版發行以來，深受廣大潔淨廠房/潔淨室設計、施工和運行維護人員以及大專院校相關專業師生的歡迎，並得到了從事潔淨技術同行們在專業論文、著作等的廣泛閱讀參考與引用。

國內外潔淨技術的發展都是隨著科學技術的發展、工業產品的日新月異，特別是軍事工業、航天、電子和生物制藥等工業的發展而不斷發展的。現代高科技產品生產和現代化科研實驗活動要求微型化、精密化、高純度、高質量和高可靠性，如以集成電路芯片制造為代表的微電子產品生產提出嚴格潔淨環境和大面積、大體量、高投入的要求，集成電路的線寬已從微米級發展到納米級。為滿足高速發展的“潔淨生產環境”要求，潔淨技術的綜合技術特性日益顯現，集成電路芯片生產不僅要求潔淨度等級達到ISO1～3級和嚴格控制分子污染物，而且還要求設置多品種高純/超純物質——高純水/超純水、高純氣體（特種氣體）、高純化學品等的供應繫統；生物制藥潔淨室不僅應具有規定的潔淨度等級，還應具有可靠的消毒、滅菌技術措施。為此，21世紀初以來我國從事潔淨技術科研、設計、建造和運行管理的科技人員，在已經制定、實施的“潔淨廠房/潔淨室”標準的基礎上，制定、修訂了數十項（包括部分關聯密切的相關專業技術）標準，國際標準化組織和各國同行也制定、修訂了若干涉及潔淨技術的標準。本書第二版正是依據上述需要和我院（中國電子工程設計院有限公司）近年來潔淨廠房/潔淨室設計、建造、檢測和標準規範制定、修訂等方面積累的實踐經驗、各種技術資料（調研、測試報告）等，組織相關科技人員進行整理、編著的，並特邀具有豐富潔淨廠房/潔淨室工程建設施工、調試和檢測、運行管理等實踐經驗的中國電子繫統工程第二建設有限公司、第四建設有限公司以及上海科信檢測技術有限公司、北京中電凱爾設施管理有限公司的有關人員參加編寫本書的相關部分。本書的編寫仍秉承內容力求實用、簡練，以滿足從事潔淨廠房/潔淨室設計、施工和運行管理的科技人員的需要。

本書第二版的編寫人員有中國電子工程設計院有限公司的陳霖新、張利群、晁陽、秦學禮、肖紅梅、閻鼕、楊朝輝、王凌旭、周向榮、牛光宏、陳騮、俞渭雄、劉澈、田超賀、楊新宇等，中國電子繫統工程第二建設有限公司的施紅平、吳建華、楊九祥、董連東，中國電子繫統工程第四建設有限公司的萬銅良、程航、石小琰，上海科信檢測科技有限公司的陳思源、彭永昌，北京中電凱爾設施管理有限公司的馮衛中。本書中的一些內容采用了同行專家學者發表或未發表的專著、論文的相關內容，有的同行還提供了他們掌握的資料和數據，在此特向他們致以誠摯的謝意。

本書的編寫得到了中國電子工程設計院有限公司原院長、中國電子學會潔淨技術分會前主任委員、《潔淨與空調技術》主編王堯的大力支持、指導，並由其審查定稿。

由於編寫人員的水平有限，難免存在缺點與不足，望同行、讀者批評指正。

編著者

2022年1月

第一版前言

潔淨廠房設計（潔淨室設計）是潔淨技術的重要組成部分，隨著科學技術日新月異的發展，各類工業產品加工生產過程趨向精密化、微型化，特別是微電子技術、生物技術、藥品生產技術、精密機械加工技術、精細化工生產技術、食品加工技術等的高速發展，使潔淨技術得到日益廣泛的應用。潔淨室的空氣潔淨度等級已從過去的幾個等級擴展到現在的數十個等級，受控環境中控制微粒的粒徑已從0.5μm縮小到0.025μm，甚至更為嚴格的要求；潔淨生產環境的控制技術也從控制潔淨室的空氣潔淨度擴展到相關工業產品生產過程所涉及的各類工藝介質、化學品、微振動、靜電的嚴格控制。為適應這些要求，潔淨室已從一般潔淨室形式逐步發展到隧道式潔淨室、開放式潔淨室 隔離裝置、微環境等多種形式；國際標準化組織制定的ISO14644和ISO14698繫列潔淨室標準從1999年開始相繼頒布實施，為各國潔淨技術的發展提供了重要依據和統一的技術標準。我國的國家標準《潔淨廠房設計規範》GB 50073—2001已發布實施，其中潔淨室的空氣潔淨度等級采用了ISO14644-1中的相關部分，這是我國的潔淨廠房設計、建造逐步融入國際潔淨技術標準邁出的重要步伐。為適應各行各業潔淨廠房設計、建造的需要，我們編寫了《潔淨廠房的設計與施工》一書。本書的編寫是依據我院（中國電子工程設計院）多年從事潔淨廠房設計工作積累的實踐經驗、技術資料和近年修訂《潔淨廠房設計規範》過程中所得到的各種技術資料，組織設計人員進行整理、編著，並特邀具有豐富潔淨室施工經驗的中國電子繫統工程第二建設公司組織編寫潔淨室施工部分。本書編寫的內容力求實用、簡練，以滿足從事潔淨室設計、施工的技術人員的需要。

本書的編寫人員有中國電子工程設計院的陳霖新、晁陽、秦學禮、肖紅梅、吳曉明、樊勖昌、黃德明、俞渭雄、陳騮、張振祿等，以及中國電子繫統工程第二建設公司的侯憶。本書中的一些內容采用了同行專家學者發表或未發表的專著、論文的相關內容，有的同行還提供了他們掌握的資料和數據，在此特向他們致以誠摯的謝意。

本書由中國電子工程設計院原院長、中國電子學會潔淨分會前主任委員、《潔淨與空調技術》主編嚴德隆最後審查定稿。

由於編寫人員的水平所限，難免存在缺點與不足，望同行、讀者批評指正。

編者

2002年10月"