了得網研究生_半導體制造技術

內容簡介

本書詳細追述了半導體發展的歷史並吸收了各種新技術資料，學術界和工業界對本書的評價都很高。全書共分20章，根據應用於半導體制造的主要技術分類來安排章節，包括與半導體制造相關的基礎技術信息；總體流程圖的工藝模型概況，用流程圖將硅片制造的主要領域連接起來；具體講解每一個主要工藝；集成電路裝配和封裝的後部工藝概況。此外，各章為讀者提供了關於質量測量和故障排除的問題，這些都是會在硅片制造中遇到的實際問題。
本書適合作為高等院校微電子技術專業的教材，也可作為從事半導體制造與研究人員的參考書及公司培訓員工的標準教材。

第1章半導體產業介紹
目標
1.1 引言
1.2 產業的發展
1.3 電路集成
1.4 集成電路制造
1.5 半導體趨勢
1.6 電子時代
1.7 在半導體制造業中的職業
1.8 小結
第2章半導體材料特性
目標
2.1 引言
2.2 原子結構第1章半導體產業介紹
目標
1.1 引言
1.2 產業的發展
1.3 電路集成
1.4 集成電路制造
1.5 半導體趨勢
1.6 電子時代
1.7 在半導體制造業中的職業
1.8 小結
第2章半導體材料特性
目標
2.1 引言
2.2 原子結構
2.3 周期表
2.4 材料分類
2.5 硅
2.6 可選擇的半導體材料
2.7 小結
第3章器件技術
目標
3.1 引言
3.2 電路類型
3.3件結構
3.4件結構
3.5 CMOS器件的閂鎖效應
3.6 集成電路產品
3.7 小結
第4章硅和硅片制備
目標
4.1 引言
4.2 半導體級硅
4.3 晶體結構
4.4 晶向
4.5 單晶硅生長
4.6 硅中的晶體缺陷
4.7 硅片制備
4.8 質量測量
4.9 外延層
4.10 小結
第5章半導體制造中的化學品
目標
5.1 引言
5.2 物質形態
5.3 材料的屬性
5.4 工藝用化學品
5.5 小結
第6章硅片制造中的沾污控制
目標
6.1 引言
6.2 沾污的類型
6.3 沾污的源與控制
6.4 硅片濕法清洗
6.5 小結
第7章測量學和缺陷檢查
目標
7.1 引言
7.2 集成電路測量學
7.3 質量測量
7.4 分析設備
7.5 小結
第8章工藝腔內的氣體控制
目標
8.1 引言
8.2 真空
8.3 真空泵
8.4 工藝腔內的氣流
8.5 殘氣分析器
8.6 等離子體
8.7 工藝腔的沾污
8.8 小結
第9章集成電路制造工藝概況
目標
9.1 引言
9.2 CMOS工藝流程
9.3 CMOS制作步驟
9.4 小結
第10章氧化
目標
10.1 引言
10.2 氧化膜
10.3 熱氧化生長
10.4 高溫爐設備
10.5 臥式與立式爐
10.6 氧化工藝
10.7 質量測量
10.8 氧化檢查及故障排除
10.9 小結
第11章澱積
目標
11.1 引言
11.2 膜澱積
11.3 化學氣相澱積
11.4 CVD澱積繫統
11.5 介質及其性能
11.6 旋塗絕緣介質
11.7 外延
11.8 CVD質量測量
11.9 CVD檢查及故障排除
11.10 小結
第12章金屬化
目標
12.1 引言
12.2 金屬類型
12.3 金屬澱積繫統
12.4 金屬化方案
12.5 金屬化質量測量
12.6 金屬化檢查及故障排除
12.7 小結
第13章光刻：氣相成底膜到軟烘
目標
13.1 引言
13.2 光刻工藝
13.3 光刻工藝的8個基本步驟
13.4 氣相成底膜處理
13.5 旋轉塗膠
13.6 軟烘
13.7 光刻膠質量測量
13.8 光刻膠檢查及故障排除
13.9 小結
第14章光刻：對準和曝光
目標
14.1 引言
14.2 光學光刻
14.3 光刻設備
14.4 混合和匹配
14.5 對準和曝光質量測量
14.6 對準和曝光檢查及故障排除
14.7 小結
第15章光刻：光刻膠顯影和先進的光刻技術
目標
15.1 引言
15.2 曝光後烘焙
15.3 顯影
15.4 堅膜
15.5 顯影檢查
15.6 先進的光刻技術
15.7 顯影質量測量
15.8 顯影檢查及故障排除
15.9 小結
第16章刻蝕
目標
16.1 引言
16.2 刻蝕參數
16.3 干法刻蝕
16.4 等離子體刻蝕反應器
16.5 干法刻蝕的應用
16.6 濕法腐蝕
16.7 刻蝕技術的發展歷程
16.8 去除光刻膠
16.9 刻蝕檢查
16.10 刻蝕質量測量
16.11 干法刻蝕檢查及故障排除
16.12 小結
第17章離子注入
目標
17.1 引言
17.2 擴散
17.3 離子注入
17.4 離子注入機
17.5 離子注入在工藝集成中的發展趨勢
17.6 離子注入質量測量
17.7 離子注入檢查及故障排除
17.8 小結
第18章化學機械平坦化
目標
18.1 引言
18.2 傳統的平坦化技術
18.3 化學機械平坦化
18.4 CMP應用
18.5 CMP質量測量
18.6 CMP檢查及故障排除
18.7 小結
第19章硅片測試
目標
19.1 引言
19.2 硅片測試
19.3 測試質量測量
19.4 測試檢查及故障排除
19.5 小結
第20章裝配與封裝
目標
20.1 引言
20.2 傳統裝配
20.3 傳統封裝
20.4 先進的裝配與封裝
20.5 封裝與裝配質量測量
20.6 集成電路封裝檢查及故障排除
20.7 小結
附錄A 化學品及安全性
附錄B 淨化間的沾污控制
附錄C 單位
附錄D 作為氧化層厚度函數的顏色
附錄E 光刻膠化學的概要
附錄F 刻蝕化學

在線試讀

第1章半導體產業介紹
在20世紀，社會目睹了伴隨著從機械技術派生出的產品到集中電子技術產品變化的技術革命。數字CD播放機取代了磁帶播放機，現在汽車發動機也已由電子點火繫統控制。電子計算機幾乎在社會每個方面迅速起著作用，促進資源的有效利用。從由電子技術引起變化的廣度看，這場革命剛剛開始。
半導體產業已經成為這場技術革命的中心。主要建築材料——半導體——是貫穿整個社會電子產品的要素。半導體產品由具有不同技術技巧的人們制造：根據客戶需求創造新設計的設計師、根據設備和工藝要求而改善性能的工程師以及在自動化工廠制造半導體產品的技師。總之，增長著的半導體市場不斷要求以更低的成本獲得更好的性能。
目標
通過本章的學習，你將能夠：
1.描述現在的經濟狀態和半導體產業的技術根基。
2.解釋什麼是集成電路，並列出5個電路集成時代。
3.描述硅片，包括它是如何分層的，並描述硅片制造5個階段的基本方面。
4.說明並討論伴隨硅片制造發展的三個主要趨勢。
5.解釋什麼是關鍵尺寸（CD）及摩爾定律如何預測未來硅片制造進展。
6.描述自晶體管發明到現代硅片制造的不同電子時代。
7.討論在半導體產業中的不同職業路徑。
1.1 引言
制造電子器件的基本半導體材料是圓形單晶薄片，稱為硅片。在硅片制造廠，由硅片生產的半導體產品，又被稱為微芯片或芯片。
半導體制造技術很復雜，要求許多特殊工藝步驟、材料、設備以及供應產業。一旦微芯片被制造，根據大量產品應用要求，它們被封裝到各種電子和機械的裝配件中。這些應用的例子有汽車電子、電子商務、個人電腦及移動電話通信。
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