1 緒論
1．1 金剛石的晶體結構
1．2 金剛石的性能及應用
1．2．1 力學性能及應用
1．2．2 熱學性能及應用
1．2．3 學性能及應用
1．2．4 光學性能及應用
1．2．5 化學性能及應用
1．2．6 生物醫學 域
1．3 金剛石的分類
1．4 化學氣相沉積金剛石膜的研究進展及發展前景
參考文獻

2 CVD金剛石的成膜機理及 備方法
2．1 CVD法生長金剛石膜的機理
2．2 CVD金剛石膜的 備方法簡介
2．2．1 熱絲CVD法
2．2．2 微波等離子體CVD法
2．2．3 等離子體噴*CVD法
2．2．4 子回旋共振CVD法
2．2．5 燃燒 焰輔助CVD法
參考文獻

3 金剛石膜的 備設備 表征 段
3．1 直流熱陰 PCVD實驗裝置及實驗準備
3．1．1 直流熱陰 PCVD實驗裝置
3．1．2 直流輝光 等離子體原理
3．1．3 實驗準備及樣品的 備
3．2 金剛石膜的形貌、結構 性能表征
3．2．1 掃描 子顯微鏡（SEM）
3．2．2 X*線衍*分析儀（XRD）
3．2．3 光拉曼光譜儀（Ra*n）
3．2．4 霍爾效應 試儀（Hall）
3．2．5 原子力顯微鏡
3．2．6 透* 子顯微鏡（TEM）
3．2．7 金相顯微鏡
參考文獻

4 CH4/H2氣氛下金剛石膜生長 性研究
4．1 壓強對金剛石膜生長 性的影響
4．1．1 較高CH4濃度下壓強對金剛石膜生長 性的影響
4．1．2 較低CH4濃度下壓強對金剛石膜生長 性的影響
4．2 襯底溫度對金剛石膜生長 性的影響
4．2．1 SEM分析
4．2．2 Ra*n分析
4．2．3 XRD分析
4．2．4 綜合分析
4．3 CH4流量對金剛石膜生長 性的影響
4．3．1 SEM分析
4．3．2 Ra*n分析
4．3．3 XRD分析
4．3．4 綜合分析
4．4 本章小結
參考文獻

5 低溫低壓下納米金剛石膜的 備及性能分析
5．1 樣品的 備
5．2 結果與討論
5．2．1 SEM分析
5．2．2 Ra*n分析
5．2．3 XRD分析
5．3 本章小結
參考文獻

6 氮摻雜金剛石膜的 備與性能研究
6．1 金剛石膜的摻雜研究概述
6．2 氮源性質簡介
6．3 C3H6N6流量對金剛石膜的生長 性影響研究
6．3．1 SEM分析
6．3．2 Ra*n分析
6．3．3 XRD分析
6．3．4 學性能分析
6．4 N2流量對金剛石膜生長 性影響研究
6．4．1 SEM分析
6．4．2 Ra*n分析
6．4．3 XRD分析
6．4．4 學性能分析
6．5 NH3對金剛石膜生長 性影響研究
6．5．1 SEM分析
6．5．2 Ra*n分析
6．5．3 XRD分析
6．5．4 學性能分析
6．6 Ar氣濃度對氮摻雜金剛石膜的生長 性影響
6．6．1 SEM分析
6．6．2 Ra*n分析
6．6．3 XRD分析
6．6．4 不同Ar/H2流量 對納米晶金剛石膜 學性能的影響
6．7 本章小結
參考文獻

7 金剛石膜的高溫氧化
7．1 金剛石氧化現像 機理
7．1．1 CVD金剛石膜的氧化現像
7．1．2 CVD金剛石膜的氧化機理
7．2 高溫氧化對金剛石膜的性能的影響
7．3 影響金剛石膜氧化性能的因素
參考文獻

8 金剛石膜壓力傳感器
8．1 金剛石傳感器的相關技*
8．1．1 金剛石膜的圖形化技*
8．1．2 金屬化（金剛石傳感器的歐姆接觸）
8．2 壓阻 金剛石膜壓力傳感器
8．2．1 壓阻 傳感器基本原理
8．2．2 壓阻 金剛石壓力傳感器的 造
8．2．3 壓阻 金剛石壓力傳感器研究現狀及存在問題
參考文獻

9 金剛石膜 的 化學應用
9．1 金剛石膜 優勢
9．2 化學污*處理
9．3 離子*洗衣機
9．4 化學分析檢
9．4．1 COD的檢
9．4．2 醫用 品的檢
9．4．3素及其他無機物的檢
9．4．4 生物傳感器 域的應用
9．4．5 農 殘留以及食品添加劑的檢
參考文獻