內容簡介
三維集成技術將多層集成電路芯片堆疊鍵合,通過穿透襯底的三維互連實現多層之間的電信號連接。三維集成技術可以降低芯片功耗,減小互連延時,提高數據傳輸帶寬,並為實現復雜功能的SoC提供了可能。作為與工藝節點無關的新技術,三維集成具有極為廣泛的應用,近年來受到了微電子領域的高度重視。本書較為全面地介紹了三維集成技術的重點和前沿領域,包括三維集成制造技術、集成方法、集成策略、熱力學理論、可靠性問題、測試技術等,並介紹了多種應用及一些新技術的發展趨勢。 本書可供高等院校微電子、電子、封裝、微機電繫統、力學、機械工程、材料等專業的高年級本科生、研究生和教師使用,也可供相關領域的工程技術人員參考。