了得網工業技術_微制造與納米技術

編輯推薦

《微制造與納米技術》一書用大量的數據、公式、圖表和應用實例闡述了微制造與納米技術的概念、理論、原理、設計思路、工藝、方法以及應用和前景等。通觀全書不僅具有權威性，而且內容豐富、理論深入淺出、實用性強，是廣大微制造與納米技術領域工作者和有關院校師生比較理想的一本參考書。

內容簡介

《微制造與納米技術》一書主要介紹了微機電繫統（MEMS）、微光機電繫統（MOEMS）、激光技術在微制造中的應用、平版印刷術、體和表面微加工、納米修整、誤差補償、碳納米管、微能源化學繫統、燃料電池、空間推進微結構、生物傳感器等內容。書中用大量的數據、公式、圖表和應用實例闡述了微制造與納米技術的概念、理論、原理、設計思路、工藝、方法以及應用和前景等。

譯叢序言
譯者的話
前言
第1章導論
1.1背景介紹
1.2概述
1.2.1精密工程
1.2.2微銑削和微型鑽孔
1.3微機電繫統
1.4微電子制造方法
1.4.1體微加工
1.4.2表面微加工
1.5微型化儀器
1.6微機械電子

譯叢序言

譯者的話

前言

第1章導論

1.1背景介紹

1.2概述

1.2.1精密工程

1.2.2微銑削和微型鑽孔

1.3微機電繫統

1.4微電子制造方法

1.4.1體微加工

1.4.2表面微加工

1.5微型化儀器

1.6微機械電子

1.7納米修整

1.8光變圖像

1.9微能源和化學繫統

1.10空間微推進

1.11電子束納米印刷

1.12納米技術

1.13碳納米管及其結構

1.14分子邏輯門

1.15納米尺度生物傳感器

1.16C60及其衍生物的化學交聯

1.17燃料電池

1.18參考文獻

第2章微機電繫統與微光機電

繫統原理2.1概述

2.2執行器的驅動原理

2.3制造工藝

2.4機械微機電繫統

2.4.1機械傳感器

2.4.2加速度計、懸臂式

傳感器和電容測量

2.4.3揚聲器

2.4.4陀螺儀

2.4.5機械執行器

2.5熱微機電繫統

2.5.1計溫學

2.5.2數據存儲應用

2.5.3微型加熱器氣體

傳感器

2.5.4熱執行器

2.6磁微機電繫統

2.7微光機電繫統

2.8空間光調制器

2.9數字微鏡設備

2.10光柵光閥（GLV）

2.11參考文獻

第3章微制造中的激光技術

3.1概述

3.2激光的產生

3.3激光的特性

3.3.1單色性

3.3.2方向性

3.3.3亮度

3.3.4相干性

3.3.5空間分布

3.3.6時間脈衝波形

3.4激光應用

3.5微加工中的激光技術

微制造與納米技術目錄3.5.1背景

3.5.2激光的吸收和反射

3.5.3應用技術基礎

3.6參考文獻

第4章激光干涉儀幾何誤差軟補償

4.1概述

4.2幾何誤差校正概述

4.2.1誤差測量繫統

4.2.2精度評價

4.3幾何誤差補償方法

4.3.1幾何誤差查找表

4.3.2幾何誤差參數模型

4.4實驗結果

4.4.1誤差近似

4.4.2線性誤差

4.4.3直線度誤差

4.4.4角度誤差

4.4.5垂直度誤差

4.4.6評價

4.5小結

4.6參考文獻

第5章體微加工中的蝕刻工藝表征

5.1概述

5.2體微加工的發展歷史

5.3濕法體微加工（WBM）

5.4晶體學及其影響

5.5硅作為基板與結構材料

5.5.1硅作為基板

5.5.2硅作為結構材料

5.5.3應力與應變

5.5.4硅的熱力學性質

5.6濕法蝕刻流程

5.6.1各向同性蝕刻劑

5.6.2反應現像

5.6.3各向同性蝕刻曲線

5.6.4掩膜

5.6.5依賴型摻雜蝕刻劑

5.7各向異性蝕刻

5.7.1各向異性蝕刻劑

5.7.2各向異性蝕刻劑掩膜

5.8蝕刻控制：停止技術

5.8.1硼擴散蝕刻停止

5.8.2電化學蝕刻自停止技術

5.8.3薄膜與絕緣硅蝕刻停止

5.9體微加工中蝕刻存在的問題

5.9.1基板面消耗

5.9.2角補償

5.10小結

5.11參考文獻

第6章表面微加工和晶片粘合工藝的特點

6.1概述

6.2光刻工藝

6.3表面微加工

6.4表面微加工工藝特點

6.4.1隔離層

6.4.2犧牲層

6.4.3結構材料

6.4.4選擇性蝕刻

6.5特性

6.5.1附著力

6.5.2應力

6.5.3黏滯

6.6晶片鍵合

6.6.1陽極鍵合

6.6.2融化鍵合

6.7小結

6.8參考文獻

第7章文件安全領域微加工：光變圖像

7.1引言

7.2概述

7.3光變圖像箔微結構

7.3.1防偽全息圖

7.3.2KinegramTm技術

7.3.3CatpixTm電子束光刻微結構

7.3.4結構穩定性

7.3.5PixelgramTM調色概念

7.3.6基於ExelgramTM軌道的光變圖像微結構

7.3.7隱蔽圖片顯微圖像安全特征

7.3.8KinegramTM和ExelgramTM的比較

7.3.9VectogramTM圖像多路復用技術

7.3.10間隙調制

7.4通用的光變圖像微結構

7.4.1光變油墨技術

7.4.2衍射數據箔

7.4.3生物識別光變圖像技術

7.5光學圖像單?嗦氡礱婺擅?制造

7.5.1微鏡光變圖像

7.5.2微鏡光變圖像的起源

7.5.3微鏡光變圖像光學效應

總結

7.6小結

7.7參考文獻

第8章納米修整技術

8.1概述

8.2傳統加工工藝

8.2.1研磨

8.2.2拋光

8.2.3珩磨

8.3高級修整工藝（AFPs）

8.3.1磨料流加工

（AFM）

8.3.2磁力研磨（MAF）

8.3.3磁流變加工

（MRF）

8.3.4磁流變磨料流修整

（MRAFF）

8.3.5磁懸浮拋光

（MFP）

8.3.6彈性噴射加工

（EEM）

8.3.7離子束加工

（IBM）

8.3.8化學機械拋光

（CMP)

8.4參考文獻

第9章微納米技術在空間微推進繫統中的應用

9.1概述

9.2微型化航天器微推動的子繫統和設備

9.3推進繫統

9.3.1固體推進劑

9.3.2冷氣體

9.3.3膠體推進器

9.3.4熱氣體

9.3.推進繫統

9.3.6再生加壓循環

9.3.7姿態調整與控制繫統

9.4冷氣體微推進器的實現

9.4.1氣體和流體動力學

9.4.2原型設計

9.5小結

9.6參考文獻

第10章碳納米管的制造和應用：納米技術基礎

10.1概述

10.2納米技術和碳納米管的前景

10.3碳納米管的研究進展

10.4碳納米管的結構和屬性

......

前言

前言復雜微型化部件和繫統正在以*顯著的方式改變著各種各樣的產品和設備。微型化的方法和設計代表了廣泛的研究方向，包括在基礎物理、化學、材料科學、計算方法、超精密工程、制造技術、微加工和許多其他基於原理、表征、建模、模擬、復雜性、先進技術適應性中的應用。微制造與納米技術（MAN）是根據先進產品和設備設計概念而出現的，且隨著微型化的需求而不斷發展。在MAN領域中，技術性研究正在擴大，它的設計階段已經高度復雜化，並且涉及多物理和交叉學科的研究方法。這本書的主要目標是為了提供關於微/納米繫統和技術的概念、原理、特征、應用、****進展與比較方面的信息。同時還包含了研究、發展、指南和案例分析。世界各地許多研究機構也正在開展微工程學、微制造、微觀力學和納米技術的學術和工業的研究與開發。隨著這個領域的技術趨勢（例如：設計和開發方法學、當前應用背景、優點和缺點等）需要更廣泛地傳播，以使MAN的革新更進一步地為社會服務。本書將重點闡述微制造與納米技術的內在概念、微機電繫統（MEMS）和微光機電繫統（MOEMS）的多物理原理、設計提示和線索，以及技術和方法論。前言復雜微型化部件和繫統正在以*顯著的方式改變著各種各樣的產品和設備。微型化的方法和設計代表了廣泛的研究方向，包括在基礎物理、化學、材料科學、計算方法、超精密工程、制造技術、微加工和許多其他基於原理、表征、建模、模擬、復雜性、先進技術適應性中的應用。微制造與納米技術（MAN）是根據先進產品和設備設計概念而出現的，且隨著微型化的需求而不斷發展。在MAN領域中，技術性研究正在擴大，它的設計階段已經高度復雜化，並且涉及多物理和交叉學科的研究方法。這本書的主要目標是為了提供關於微/納米繫統和技術的概念、原理、特征、應用、****進展與比較方面的信息。同時還包含了研究、發展、指南和案例分析。世界各地許多研究機構也正在開展微工程學、微制造、微觀力學和納米技術的學術和工業的研究與開發。隨著這個領域的技術趨勢（例如：設計和開發方法學、當前應用背景、優點和缺點等）需要更廣泛地傳播，以使MAN的革新更進一步地為社會服務。本書將重點闡述微制造與納米技術的內在概念、微機電繫統（MEMS）和微光機電繫統（MOEMS）的多物理原理、設計提示和線索，以及技術和方法論。

微制造與納米技術就像一枚硬幣的兩面。關於微工程學、微繫統、超精密工程、微加工、納米修整、微觀力學、微結構和微繫統的困惑和爭論一直存在。因此本書中每章的作者都在試圖闡明這個困惑，使讀者理解微制造與納米技術相關的更廣泛的領域，例如激光技術的應用、平版印刷術、體和表面微加工、納米修整、誤差補償、MEMS、MOEMS、碳納米管、微能源化學繫統、燃料電池、空間推進微結構、生物傳感器等，以及它們的底層技術、哲學思想、概念、理念和原理的本質。並以適當的順序給出微繫統在設計過程、實踐、技術、平臺和實驗結果方面的問題。同時每章還對當今備受關注的研究和技術進展進行專題性和一般性的概述，進一步研究的基本方法、創新、重要研究結果和參考文獻。本書在相應的章節還適時地給出了相關技術的優點和缺點，這樣無論是初學者還是資深從業者都能使用這些評價來指導他們的選擇。而且書中所有的研究工作都經過合適的評論、處理和編排，以便於保持其連貫性，從而也使其對於不管是資深從業者還是新手的讀者都能夠理解大部分內容。由於本書涉及了許多交叉學科，其重點內容在微米和納米領域也是非常重要的。

全書的框架如下所示：

第1章是導論。第2章講述了MEMS和MOEMS的原理，以及與MEMS和MOEMS相關的不同物理現像及其應用的精確定義。第3章講述了激光技術在微制造應用中的基本原理。其中高精密儀器繫統的幾何補償至關重要。第4章著重介紹了用計算機輔助激光干涉儀進行誤差補償的基本原理和實驗體繫。在這一章中還描述了誤差模型及其誤差補償的程序方法。第5章討論了體微加工工藝，即一種微繫統和設備制造的基本工藝要求。這種加工的進一步發展即是表面微加工。第6章介紹了表面微制造的原理。第7章討論了與微繫統相符合的光變圖像（OVD），即一種已長期用於文檔安全應用的極高標準設備的**進展。第8章闡述了各種各樣的納米修整技術，以及包括微觀繫統和宏觀繫統操作和表征的重要方法。第9章介紹了微納米技術在空間應用中的作用。第10和11章介紹了碳納米管和納米結構。得益於分子計算技術的發展，未來的計算世界將會日新月異。第12章對基於熒光、吸附和電子導電的分子邏輯門進行了綜合性的描述。第13章給出了若干用於生物傳感器的微尺度懸臂裝置設計的研究結果。通過這些微裝置進行微能源運輸被稱為微能源與化學繫統（MECS），目前此研究已取得了重要突破。第14章介紹了MECS的應用前景，如微電子冷卻繫統、化學反應器、燃料處理和熱泵。第15章對雕塑薄膜研究進行了詳細闡述。接下來的兩章，即第16章和第17章分別討論了電子束和光學納米微影技術。第18章對納米技術相對燃料電池的應用進行了現像學描述。第19和20章分別介紹了碳納米管與胺和C60薄膜中化學交聯的衍生。

本書的成功出版源於許多研究人員、顧問、技術專家、學者、開發人員、設計人員和支持者的直接和間接參與。因此編者和出版商在這裡感謝書中所涉及的所有文獻、報道、文章、記錄、研究材料等的幕後人員和團隊。此外，書中各章的作者還要感謝支持研究工作的各基金資助機構，沒有這些機構的資助，這些研究工作是無法完成的。在此還特別地感謝：MAdrian Michalicek、Wassanai Wattanutchariya、Kannachai Kanlayasiri、Joseph Thomas、Hadi Hasan、Nitin Sharma、Patrick Kwon、Sharee McNab、David Melville、Conrad Wolf、Andrew Thompson、Alan Wright、Helen Devereux、Gary Turner、Mike Flaws以及下面的機構、研究所、公司和雜志。科技部（項目代碼：MS 01 133 01）、新西蘭皇家社會馬思頓基金（UOC 604和UOC 312）、EPSRC（英國）（基金號碼：HPRN CT 2000 00028和GR/N12657/01）、NEDO（日本）JRCAT、墨西哥科技國家委員會（CONACYT 36317 E和40399 Y）、歐洲太空總署、墨西哥國立自治大學（基金代碼：DGAPA IN100402 3和 IN100303）、奧裡薩邦政府工業部、布爾拉大學工程學院、德克薩斯州儀器公司、科羅拉多大學博爾德分校、《微觀力學與微工程》雜志、《IEEE微機電繫統》雜志、《自然材料》雜志、遠景研究公司。

尼泰戈爾.普萊姆昌德.馬哈裡克"

商品搜索

商品分类

【醫學】

【各大出版社】