內容簡介
本書是《現代加工技術叢書》之一。本書從微細加工技術的基礎知識講起,較為詳細地介紹了光學曝光技術、光學分辨率增強技術、電子束光刻技術、X射線光刻技術、*遠紫外光刻技術、刻蝕技術以及其他納米加工技術。本書較為全面地反映了我國微細加工技術的現狀,並在此基礎上介紹了國際微細加工的先進技術及其發展趨勢,是從事微細加工技術的科研人員、本科生、研究生以及對微電子感興趣的人員的參考書。
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