內容簡介
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本書以動態微機電繫統(MEMS)為主要對像,介紹其相關的功能材料、設計方法、制造工藝以及控制方法。全書共6章,主要內容包括:動態
MEMS主要技術領域的簡況;動態MEMS中常用的功能材料及其制備方法;動態MEMS器件的主要設計方法及其發展現狀;動態MEMS的制造工藝,常見失效模式及其克服方法;動態MEMS的控制理論基礎、控制技術及其發展現狀、控制實驗方法等方面的論述;典型動態MEMS繫統剖析。
《動態微機電繫統》可供材料類、機電工程類、自動控制類、儀器科學類等相關專業的高年級本科生和研究生作為教材使用,也可供從事MEMS功能材料、
MEMS器件設計、MEMS制造工藝和MEMS控制技術研究的科技人員參考。