內容簡介
本書依托國家“863”、“973”等項目,圍繞PCRAM研發所涉及的基礎科學與關鍵技術問題,對PCRAM的基本原理、PCRAM所用的材料體繫、新型相變材料的理論與方法、PCRAM的關鍵單項工藝與集成工藝、結構改進、PCRAM所涉及的器件結構與芯片模擬、測試、芯片設計與制造等方面進行了較為詳細的階段性工作總結。
本書適合材料、微電子等相關專業的研究生、科技人員和教學人員使用。
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