內容簡介
本書繫統地介紹了聲表面波壓電與叉指換能器材料、各種聲表面波器件設計及其制備工藝。全書共6章。第1章介紹聲表面波技術的原理與發展歷程、聲表面波器件的特點與應用。第2章介紹聲表面波器件用的各類壓電材料壓電單晶、壓電陶資以及壓電薄膜的制備、性能與特點,重點介紹氧化缽壓電薄膜材料制備與改性。第3章闡述叉指換能器的設計理論與叉指換能器材料。第4章介紹多層薄膜聲表面波器件的理論設計和具體實例。第5章介紹聲表面波濾波器、延遲線、諧振器和傳感器的特點與設計。第6章介紹聲表面波器件的制備工藝及其表征方法。