內容簡介
本書是目前國內外唯一敘述集成化MEMS的專著。CMOS電路技術是當今微電子的主流技術,本書主要介紹如何將MEMS與CMOS電路集成的方法和應用。內容包括CMOS MEMS的制備工藝、材料表征及其與電路或繫統的集成化技術;CMOS MEMS技術在慣性傳感器、壓力傳感器、指紋傳感器繫統、化學傳感器、生化傳感器、熱傳感器和RF器件及繫統中的應用。
本書由國際上20餘位知名專家撰寫,內容豐富,參考文獻全面。適合於微電子技術、微機電繫統(MEMS)技術、傳感器技術、通訊技術等相關領域的高年級本科生、研究生和工程技術人員參考。
本書由國際上20餘位知名專家撰寫,內容豐富,參考文獻全面。適合於微電子技術、微機電繫統(MEMS)技術、傳感器技術、通訊技術等相關領域的高年級本科生、研究生和工程技術人員參考。