內容簡介
本書共分為12章,從第1章共性的設計理論和實現方法出發,對MEMS微波器件進行了一繫列設計、實驗和繫統級S參數模型的研究。這些器件包括:第2章的一分為二微波功分器,第3章的間接加熱熱電式功率傳感器,第4章的直接加熱熱電式功率傳感器,第5章的電容式功率傳感器,第6章的電容式和熱電式級聯功率傳感器,以及集成MEMS繫統,第7章的在線電容耦合式微波功率檢測器,第8章的在線定向耦合式毫米波功率檢測器,第9章微波相位檢測器和第10章微波頻率檢測器,第11章分別對微波功率、相位和頻率檢測器進行了封裝研究;*後,第12章進行了總結和展望。由於集成的MEMS相位檢測器和集成的MEMS頻率檢測器研究都是基於MEMS微波功率傳感器技術,因此,本書用較大篇幅來詮釋MEMS微波功率傳感器及其集成的微波功率檢測器的研究。鋻於本書所涵蓋的學術成果在本專業國際上的重要**學術期刊,以及國際重要學術會議上已發表,同時,書中所提出的結構新穎,創新性突出,已獲得中華人民共和國國家發明專利授權,應用價值高。