內容簡介
本書集中介紹了薄膜科學中的關鍵部分薄膜生長。全書由五個方面15章的內容組成:至四章主要從薄膜的角度介紹相平衡和晶體表面原子結構的基礎知識。第五至七章主要介紹薄膜中的缺陷和擴散。第八、九章主要介紹薄膜生長的三種模式和成核長大動理學。第十至十三章主要介紹金屬薄膜、半導體薄膜、氧化物薄膜的生長和生長中出現的分形現像。第十四、十五章介紹薄膜制備和研究的各種方法。本書不僅繫統地介紹了有關薄膜生長的固體物理學知識,而且介紹了薄膜生長的前沿進展和薄膜檢測的各種先進方法。《BR》本書可作為固體物理、材料科學專業的研究生教學用書,也可供從事薄膜研制和生產的科技人員參考。