內容簡介
本書結合微繫統(MEMS)技術的基礎理論、典型器件和發展趨勢,介紹微繫統的力學、電學和物理學基本理論,針對典型器件的分析設計方法和制造技術,以及多個前沿應用領域,力爭成為具有一定深度和廣度的MEMS領域的教材和實用參考書。主要內容包括: 微繫統基本理論、制造技術、微型傳感器、微型執行器、RF MEMS、光學MEMS、BioMEMS,以及微流體和芯片實驗室。本書強調設計與制造相結合、基礎與前沿相結合,在基礎理論和制造技術的基礎上,深入介紹多種典型和量產MEMS器件的設計和制造方法,以及重點和前沿應用研究領域的發展。本書可供高等院校電子、微電子、微機電繫統、測控技術與儀器、精密儀器、機械工程、控制工程等專業的高年級本科生、研究生和教師使用,也可供相關領域的工程技術人員參考。