內容簡介
本書綜合當前公開發表的大量有關微機電繫統(MEMS)的科技文獻和我們近幾年研究工作的成果,主要介紹當今微機電繫統的內容、應用及其發展。內容包括微機電繫統的組成和應用、微機電繫統功能材料、微機械制造技術、微機械執行器、微機械傳感器及微弱信號檢測與處理6部分。
全書內容豐富、圖文恰當、新穎實用。可作為高校有關專業研究生和高年級大學生的教材,也可供檢測與控制等微工程領域的工程技術人員參考。
全書內容豐富、圖文恰當、新穎實用。可作為高校有關專業研究生和高年級大學生的教材,也可供檢測與控制等微工程領域的工程技術人員參考。